特許
J-GLOBAL ID：201303054086727227
碍子表面の付着物の付着密度測定方法及び測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
鎌田 文二
, 東尾 正博
, 田川 孝由
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-148271
公開番号（公開出願番号）：特開2013-015404
出願日： 2011年07月04日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：
【課題】碍子表面の付着物の付着密度を簡便にかつ精度良く測定すること。【解決手段】碍子Mの表面を複数の円環状エリアに区分し、その各円環状エリアで、付着物に起因するプラズマ発光の発光強度を検出する。この発光強度及び第一レーザー1を照射した円環状エリアの位置情報をデータベースと照合する。このデータベースには、位置情報、碍子全体に対する前記円環状エリアの面積比、発光強度、及び、付着密度の関係が記録されており、前記照合によって、その円環状エリアにおける付着密度を推定することができる。この測定を全ての円環状エリアにおいて行うことで、碍子表面全体の平均的な付着密度が推定できる。各円環状エリアでエリア代表点を決めておけば、そのエリア代表点のみで測定を行えばよいので、測定作業が簡便となり、しかも、高い測定精度を得ることができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
付着物が付着した基準碍子の表面の任意の測定点に第一レーザー(1)を照射して前記付着物を前記表面から飛散させ、前記第一レーザー(1)を照射してから所定時間経過した後に、前記表面から所定距離(d)離れた位置において、飛散した前記付着物に第二レーザーを照射し、この付着物をプラズマ化して発光(L)させ、その発光強度を測定した後に、前記測定点を含む所定の表面領域において付着物を拭き取ってその表面領域内における付着密度を導出し、複数の前記測定点について、前記表面領域の位置情報、前記基準碍子全体に対する前記表面領域の面積比、前記発光強度、及び、前記付着密度との関係を含むデータベースとして予め記録しておき、
測定対象の碍子(M)の表面に前記第一レーザー(1)を照射し、前記第一レーザー(1)を照射してから前記所定時間経過した後に、前記測定対象の碍子(M)の表面から前記所定距離(d)離れた位置に前記第二レーザー(2)を照射し、この照射に伴うプラズマの発光強度を測定し、この測定対象の碍子(M)の表面の位置情報及び前記発光強度と、前記データベースに記録した位置情報及び発光強度とを照合して、前記第一レーザー(1)を照射した表面領域内における付着物の付着密度を推定するようにした碍子表面の付着物の付着密度測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (15件)：
2G043AA01
, 2G043AA03
, 2G043BA01
, 2G043CA06
, 2G043EA10
, 2G043FA01
, 2G043FA05
, 2G043HA01
, 2G043HA05
, 2G043JA02
, 2G043KA01
, 2G043KA03
, 2G043KA05
, 2G043KA08
, 2G043KA09
