特許
J-GLOBAL ID：201303054491639270

切削装置

発明者：
前杢 芳雄

前杢 芳雄 について


出願人/特許権者：
株式会社ディスコ

株式会社ディスコ について


代理人 (1件)： 松本 昂
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-162126
公開番号（公開出願番号）：特開2013-022713
出願日： 2011年07月25日
公開日（公表日）： 2013年02月04日
要約：
【課題】 複数種類のドレスボードを同時に保持可能なドレステーブルを備えた切削装置を提供することである。【解決手段】 被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第1ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第2ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする。【選択図】図8
請求項（抜粋）：
被加工物を保持するチャックテーブルと、高速回転する切削ブレードで該チャックテーブルに保持された被加工物を切削加工する切削手段と、該切削ブレードをドレッシングするドレスボードを着脱自在に保持するドレステーブルとを備えた切削装置であって、 該ドレステーブルは、同一方向に階段状に配設された高さの異なる複数の吸着面を有し、隣接する吸着面と吸着面の間には隣接する該吸着面の段差からなる第1ドレスボード突き当て壁が形成され、最上段の吸着面の端部には該吸着面から立ち上がった第2ドレスボード突き当て壁が形成されていることを特徴とする切削装置。
IPC (4件)：
B24B 53/00 ,  H01L 21/301 ,  B24B 53/12 ,  B24B 27/06
FI (4件)：
B24B53/00 K ,  H01L21/78 F ,  B24B53/12 Z ,  B24B27/06 M
Fターム (10件)：
3C047AA16 ,  3C047AA34 ,  3C047EE09 ,  3C047FF06 ,  3C058AA03 ,  3C058AA19 ,  3C058AC01 ,  3C058CA05 ,  3C058CB04 ,  3C058CB07
引用特許：
出願人引用 (4件)
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