ドレスボード保持テーブルおよび切削装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木宏義 , 天田昌行 , 岡田喜雅 , 菅野亨 , 溝口勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2009-149351
公開番号（公開出願番号）：特開2011-009324
出願日： 2009年06月24日
公開日（公表日）： 2011年01月13日
要約：

【課題】吸引量を増加させることなく、ドレッシング時のドレスボードの反りを効果的に防止し、適切なドレッシングを継続することができるドレスボード保持テーブルおよび切削装置を提供すること。【解決手段】切削ブレード41に切削されることにより、切削ブレード41をドレッシングするドレスボード71を吸着保持する吸着面66と、ドレスボード71の一端側に係合し、ドレスボードの一端側の反りを押える係合部63とを有し、吸着面66に形成された吸着領域が、ドレスボード71の一端側から他端側に向けて増加するように形成され、吸着力をドレスボード71の他端側に偏らせるように構成した。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

切削ブレードに切削されることにより、前記切削ブレードをドレッシングするドレスボードを吸着保持する吸着面と、前記ドレスボードの一端側に係合し、前記ドレスボードの一端側の反りを押える反り押え部とを有し、前記吸着面は、前記ドレスボードの一端側よりも他端側で吸着力が強くなるように形成されたことを特徴とするドレスボード保持テーブル。

IPC (2件)：

H01L 21/301 , B24B 53/00

FI (2件)：

H01L21/78 F , B24B53/00 K

Fターム (1件)：

3C047AA33

引用特許：

出願人引用 (5件)

ダイシング装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-343014 出願人：ソニー株式会社
切削装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-210719 出願人：株式会社ディスコ
ダイシング装置及びダイシング方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-220087 出願人：株式会社村田製作所

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