特許
J-GLOBAL ID：201303056794273891
蒸着マスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
特許業務法人 インテクト国際特許事務所
, 石川 泰男
, 石橋 良規
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-210178
公開番号（公開出願番号）：特開2013-241667
出願日： 2012年09月24日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
要約：
【課題】大型化した場合でも高精細化と軽量化の双方を満たすことができる蒸着マスクの製造方法を提供する。【解決手段】スリット16が設けられた金属マスク15と、スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスク25と、が積層されてなる蒸着マスク100の製造方法であって、金属板10の一方の面を当該金属板が貫通しない範囲内でエッチング加工して、該金属板に樹脂マスクの開口部50よりも広い開口形状を有する凹部を形成する工程と、凹部を覆うように金属板の一方の面に樹脂層を形成する工程と、金属板の他方の面をエッチング加工して、金属板に凹部と一体化したスリットを形成することで金属マスクを形成する工程と、樹脂層に蒸着作製するパターンに対応する開口部を形成することで樹脂マスクを形成する工程と、を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
スリットが設けられた金属マスクと、前記スリットと重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した開口部が設けられた樹脂マスクと、が積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、
金属板の一方の面を当該金属板が貫通しない範囲内でエッチング加工して、該金属板に前記樹脂マスクの開口部よりも広い開口形状を有する凹部を形成する工程と、
前記凹部を覆うように前記金属板の一方の面に樹脂層を形成する工程と、
前記金属板の他方の面をエッチング加工して、前記金属板に前記凹部と一体化したスリットを形成することで金属マスクを形成する工程と、
前記樹脂層に蒸着作製するパターンに対応する開口部を形成することで樹脂マスクを形成する工程と、
を備えることを特徴とする蒸着マスクの製造方法。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H01L 51/50
, H05B 33/10
C23C14/04 A
, H05B33/14 A
, H05B33/10
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC42
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB14
, 4K029HA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
