特許
J-GLOBAL ID:201303058365718276

レーザー高さ測定装置および部品実装機

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小林 脩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-147017
公開番号(公開出願番号):特開2013-016570
出願日: 2011年07月01日
公開日(公表日): 2013年01月24日
要約:
【課題】正確に測定位置を制御でき、かつセンサの取り付け位置調整機構や位置調整作業を必要とせずに測定位置の制御精度を保つことができるレーザー高さ測定装置を提供する。【解決手段】レーザー光L1を照射するレーザー光照射部61および対象物で反射されたレーザー光を検出する反射光検出部62を有するレーザー高さセンサ6と、レーザー高さセンサ6を平面内で移動させるセンサ移動機構(ヘッド駆動機構41〜43)と、所定の較正位置(光入射軸AO上)に配置された画像カメラ(部品カメラ5)と、レーザー光L1を減衰しつつ透過する減光フィルタ71と、レーザー高さセンサ6を較正位置AOに位置決めしてレーザー光L1を照射し、減光フィルタ71を透過したレーザー光を画像カメラ5で撮像してレーザー光画像を得るレーザー光撮像手段と、座標位置の補正値をレーザー光画像上でのレーザー光の位置に基づいて求める補正値取得手段と、を備える。【選択図】図3
請求項(抜粋):
対象物に向かってレーザー光を照射するレーザー光照射部、および前記対象物で反射されたレーザー光を検出する反射光検出部を有して前記対象物の高さを測定するレーザー高さセンサと、前記レーザー高さセンサを平面内で移動させるセンサ移動機構と、を備えるレーザー高さ測定装置であって、 前記センサ移動機構上の平面座標系で表した所定の較正位置に配置された画像カメラと、 前記較正位置に位置決めされた前記レーザー高さセンサのレーザー光照射部と前記画像カメラの光入射部との間に配置され、前記レーザー光照射部から前記光入射部に向かって照射されたレーザー光を減衰しつつ透過する減光フィルタと、 前記レーザー高さセンサを前記較正位置に位置決めし、前記レーザー光照射部から前記光入射部に向かって前記レーザー光を照射し、前記減光フィルタを透過したレーザー光を前記画像カメラで撮像してレーザー光画像を得るレーザー光撮像手段と、 前記レーザー高さセンサが前記センサ移動機構によって前記平面座標系の座標位置に移動されたときに前記レーザー光照射部から前記対象物に向かって照射されるレーザー光の前記平面座標系での座標位置の補正値を、前記レーザー光画像上での前記レーザー光の位置に基づいて求める補正値取得手段と、 を備えるレーザー高さ測定装置。
IPC (2件):
H05K 13/04 ,  G01B 11/00
FI (2件):
H05K13/04 Z ,  G01B11/00 B
Fターム (28件):
2F065AA06 ,  2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065AA47 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065EE00 ,  2F065FF09 ,  2F065GG04 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ16 ,  2F065LL24 ,  2F065MM07 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ28 ,  5E313AA02 ,  5E313AA11 ,  5E313AA15 ,  5E313DD01 ,  5E313DD02 ,  5E313DD03 ,  5E313DD08 ,  5E313DD31 ,  5E313EE01 ,  5E313EE02 ,  5E313EE24
引用特許:
審査官引用 (4件)
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