光波干渉測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：小林和憲
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-030777
公開番号（公開出願番号）：特開2008-196901
特許番号：特許第4810693号
出願日： 2007年02月09日
公開日（公表日）： 2008年08月28日
請求項（抜粋）：

【請求項1】可干渉距離が短い低可干渉光を出力する光源部を備えた光波干渉測定装置であって、前記光源部からの前記低可干渉光を平面波からなる照明用光束に変換して被検体に照射する照射部と、前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上に配置され、該照明用光束の一部を透過しその余を反射する第1の光束分離基準平面を有する第1のハーフミラーと、前記照明用光束の一部を透過しその余を反射する第2の光束分離基準平面を有し、前記照射部から出力された前記照明用光束の光路上において、前記第2の光束分離基準平面が前記第1の光束分離基準平面と略平行となるように、前記第1のハーフミラーと前記被検体との間に配置される第2のハーフミラーと、前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーおよび前記第2のハーフミラーを透過して前記被検体に照射された前記照明用光束のうち、前記被検体側から反射され前記第2のハーフミラーおよび前記第1のハーフミラーを透過する被検光の光路長が、前記照射部から出力され前記第1のハーフミラーを透過した前記照明用光束のうち、前記第2の光束分離基準平面、前記第1の光束分離基準平面、および前記第2の光束分離基準平面で順次反射され、さらに前記第1のハーフミラーを透過する参照光の光路長と略一致するように、前記第1のハーフミラーと前記第2のハーフミラーとの間の相対的な距離を調整する光路長調整部と、前記被検光と前記参照光との干渉により得られる干渉縞画像を撮像する干渉縞撮像部と、を備えてなることを特徴とする光波干渉測定装置。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ( 200 6.01) , G01B 11/24 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 9/02 , G01B 11/24 D

引用特許：

出願人引用 (6件)

透明薄板測定用干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-196072 出願人：富士写真光機株式会社
パスマッチ経路型干渉計装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-085422 出願人：フジノン株式会社
光計測装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-347369 出願人：松下電器産業株式会社

全件表示

前のページに戻る