特許
J-GLOBAL ID：201303058890528046
有機発光デバイスの製造装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大森 純一
, 折居 章
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-152150
公開番号（公開出願番号）：特開2013-020767
出願日： 2011年07月08日
公開日（公表日）： 2013年01月31日
要約：
【課題】高精細の発光層パターンを、高い生産性をもって製造することができる有機発光デバイスの製造装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】有機発光デバイスの製造装置10は、複数の処理ユニット11,12と、搬送ユニット13とを具備する。複数の処理ユニット11,12は、基板2上に発光層5R,5Gを形成するレーザ転写装置110,120を含む。搬送ユニット13は、レーザ転写装置110と120との間に設置された搬送室130と、基板2を搬送する搬送機構131とを含む。移載機構113,123は、熱転写体50R,50Gをそれぞれ配置している。第1の処理ユニット11、搬送ユニット13及び第2の処理ユニット12は、水平面においてX軸方向に配列されており、真空中で基板2を搬送しながら熱転写体50R,50Gにレーザを照射することで、発光層5R,5Gを順次形成するインライン式のレーザ転写装置を構成している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
真空雰囲気を維持可能な真空室と、前記真空室内に設置され前記真空室内に搬入された基板を支持するステージと、前記ステージに支持された前記基板上に、有機発光材料を支持する熱転写体を配置するように構成された移載機構と、前記熱転写体にレーザを照射することで前記有機発光材料を前記基板上に転写するレーザ光学系とをそれぞれ有する複数の処理ユニットと、
前記複数の処理ユニット各々の前記真空室間に設けられ真空雰囲気を維持可能な搬送室と、前記搬送室に設置され前記真空室間において前記基板を搬送する搬送機構とを有する搬送ユニットと
を具備する有機発光デバイスの製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107CC45
, 3K107GG09
, 3K107GG14
, 3K107GG28
, 3K107GG31
, 3K107GG42
