特許
J-GLOBAL ID：201303058947752649
スペーサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿部 琢磨
, 黒岩 創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-280146
公開番号（公開出願番号）：特開2002-170491
特許番号：特許第4865169号
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2002年06月14日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子線発生装置において用いるスペーサの製造方法であって、
ガラス又はセラミックスからなるスペーサ基体を挟持した状態で該スペーサ基体の膜形成面に、金属又は合金からなる膜形成のための材料を、スパッタ法又は電子ビーム蒸着法により付与する付与工程を有しており、
前記膜形成面が挟持のための挟持部材の端部よりも突出しない状態で前記材料の付与が行われ、
前記挟持部材は、前記材料を付与する際に該挟持部材の端部が前記膜形成面よりも5μm以上突出し、
前記材料の付与がスパッタ法により行われる場合には、前記挟持部材の端部が前記膜形成面よりも突出する長さが10mm以下であり、
前記材料の付与が電子ビーム蒸着法により行われる場合には、前記挟持部材の端部が前記膜形成面よりも突出する長さが8mm以下であることを特徴とするスペーサの製造方法。
IPC (3件)：
H01J 9/24 ( 200 6.01)
, H01J 29/87 ( 200 6.01)
, H01J 31/12 ( 200 6.01)
H01J 9/24 A
, H01J 29/87
, H01J 31/12 C
