特許
J-GLOBAL ID:201303059783460478
周期分極反転用電極、周期分極反転構造の形成方法及び周期分極反転素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (2件):
三好 秀和
, 伊藤 正和
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-023721
公開番号(公開出願番号):特開2013-160970
出願日: 2012年02月07日
公開日(公表日): 2013年08月19日
要約:
【課題】給電部直下での分極反転を防止すると共に、周期分極反転用電極のパターン形状が正確に反映された、分極反転部分の形状が均一な分極反転構造を基板の厚みに依らずに実現できる周期分極反転用電極、周期分極反転構造の形成方法及び周期分極反転素子を提供する。【解決手段】強誘電体結晶基板の分極方向と垂直な+Z面上に配置された周期分極反転用電極であって、+Z面上の一部に配置された絶縁層と、強誘電体結晶基板と接触せずに絶縁層上に配置され、行方向に延伸する給電部と、絶縁層の配置された領域の残余の領域である分極反転領域において強誘電体結晶基板に接しつつ行方向に垂直な列方向に+Z面上をストライプ状で互いに離間して平行に延伸し、且つ、少なくとも一方の端部がそれぞれ給電部に接続する複数の反転用電極片とを備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
強誘電体結晶基板の分極方向と垂直な+Z面上に配置された周期分極反転用電極であって、
前記+Z面上の一部に配置された絶縁層と、
前記強誘電体結晶基板と接触せずに前記絶縁層上に配置され、行方向に延伸する給電部と、
前記絶縁層の配置された領域の残余の領域である分極反転領域において前記強誘電体結晶基板に接しつつ前記行方向に垂直な列方向に前記+Z面上をストライプ状で互いに離間して平行に延伸し、且つ、少なくとも一方の端部がそれぞれ前記給電部に接続する複数の反転用電極片と
を備えることを特徴とする周期分極反転用電極。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (6件):
2K002AB12
, 2K002AB27
, 2K002CA03
, 2K002FA17
, 2K002FA27
, 2K002HA20
引用特許:
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