特許
J-GLOBAL ID：201303062356189357

液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子

発明者：
一色 鉄也

一色 鉄也 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (2件)： 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-028965
公開番号（公開出願番号）：特開2013-165247
出願日： 2012年02月13日
公開日（公表日）： 2013年08月22日
要約：
【課題】クラックの発生が抑制され且つ歪量が大きい圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室12と、第1電極60、前記第1電極60上に設けられた圧電体層70及び前記圧電体層70上に設けられた第2電極80を備えた圧電素子300と、を具備し、前記圧電体層70は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、前記圧電体層70は、第1圧電体層71と、前記第1圧電体層71上に設けられチタンとバリウムのモル比であるTi/Baが前記第1圧電体層71よりも高い第2圧電体層72とを有する液体噴射ヘッドとする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
ノズル開口に連通する圧力発生室と、 第1電極、前記第1電極上に設けられた圧電体層及び前記圧電体層上に設けられた第2電極を備えた圧電素子と、を具備し、 前記圧電体層は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、 前記圧電体層は、第1圧電体層と、前記第1圧電体層上に設けられチタンとバリウムのモル比であるTi/Baが前記第1圧電体層よりも高い第2圧電体層とを有することを特徴とする液体噴射ヘッド。
IPC (7件)：
H01L 41/09 ,  B41J 2/055 ,  B41J 2/045 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/39 ,  H01L 41/187
FI (6件)：
H01L41/08 J ,  B41J3/04 103A ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101B
Fターム (4件)：
2C057AF65 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM