液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：栗原浩之 , 村中克年
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-014619
公開番号（公開出願番号）：特開2011-205064
出願日： 2011年01月26日
公開日（公表日）： 2011年10月13日
要約：

【課題】環境に優しく且つ比誘電率が高い液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。【解決手段】圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層は、膜厚が3μm以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、(110)面に優先配向している液体噴射ヘッドとする。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

圧電体層と、前記圧電体層に設けられた電極とを具備する圧電素子を備えた液体噴射ヘッドであって、前記圧電体層は、膜厚が3μm以下であり、鉄酸マンガン酸ビスマス及びチタン酸バリウムを含むペロブスカイト型化合物を含有する圧電材料からなり、 (110)面に優先配向していることを特徴とする液体噴射ヘッド。

IPC (8件)：

H01L 41/09 , B41J 2/045 , B41J 2/055 , H01L 41/187 , H01L 41/18 , H01L 41/24 , C04B 35/00 , C04B 35/462

FI (7件)：

H01L41/08 J , B41J3/04 103A , H01L41/18 101J , H01L41/18 101Z , H01L41/22 A , C04B35/00 J , C04B35/46 J

Fターム (28件)：

2C057AF99 , 2C057AG12 , 2C057AG44 , 2C057BA04 , 2C057BA14 , 4G030AA10 , 4G030AA16 , 4G030AA25 , 4G030AA27 , 4G030AA37 , 4G030AA43 , 4G030BA10 , 4G030CA01 , 4G030CA08 , 4G030GA04 , 4G030GA09 , 4G030GA20 , 4G030GA27 , 4G031AA06 , 4G031AA11 , 4G031AA19 , 4G031AA21 , 4G031AA30 , 4G031AA35 , 4G031BA10 , 4G031CA01 , 4G031CA02 , 4G031CA08

引用特許：

審査官引用 (6件)

圧電材料および圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-110033 出願人：セイコーエプソン株式会社
セラミックスの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-178244 出願人：セイコーエプソン株式会社
半導体装置および半導体装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2006-042921 出願人：富士通株式会社, 国立大学法人東京工業大学

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引用文献：

審査官引用 (1件)

Effects of SrRuO3 buffer layer thickness on multiferroic (Bi 0.90 La 0.10) (Fe 0.95 Mn0.05) O3 thin

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