パッケージの封止方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人朝日特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-132708
公開番号（公開出願番号）：特開2013-065819
出願日： 2012年06月12日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

【課題】パッケージの内部と外部との間で流体が流通し易くしつつ、パッケージを容易に封止する。【解決手段】パッケージ内にアンプルを配置し、パッケージとリッドとの間に、金属管を一方の端部が外部に突出するように設け、金属管とパッケージ及びリッドとの間に低融点ガラスを設け、パッケージとリッドとの間に貫通孔を有する低融点ガラスを設け、パッケージとリッドとを接合する。金属管の端部には、洗浄液やコーティング剤の流通を制御するポンプが接続され、このポンプにより、パッケージの内部と外部との間で貫通孔を介して洗浄液やコーティング剤を流通させる。金属管を引き抜き、低融点ガラスを溶融させて、金属管を引き抜いたときに形成されるパッケージとリッドとの間隙を封止する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

開口部を有するパッケージ内に、アルカリ金属原子を収容する収容部を配置し、前記パッケージと前記開口部を覆う蓋との間に、第1の貫通孔を有する管状部材を一方の端部が外部に突出するように設け、当該管状部材と前記パッケージ又は前記蓋との間に第1の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋との間に、第2の貫通孔を有する第2の封止材を設け、前記パッケージと前記蓋とを接合する接合工程と、前記管状部材の前記端部には、流体の流通を制御する流体機械が接続され、当該流体機械により、前記第2の貫通孔を介して前記パッケージの内部にコーティング剤を流入させ、当該コーティング剤により当該パッケージの内面に膜を形成し、当該流体機械により、前記パッケージ内部の前記コーティング剤を前記第2の貫通孔を介して外部に流出させる流通工程と、前記管状部材を引き抜き、前記第1の封止材を溶融させて、当該管状部材の引き抜いたときに形成される前記パッケージと前記蓋との間隙を封止し、前記第2の封止材を溶融させて、前記第2の貫通孔を封止する封止工程と、前記収容部にレーザ光を照射して、当該収容部を破壊する破壊工程とを備えることを特徴とするパッケージの封止方法。

IPC (3件)：

H01L 23/02 , H01L 23/20 , G01R 33/26

FI (4件)：

H01L23/02 D , H01L23/02 G , H01L23/20 , G01R33/26

引用特許：

出願人引用 (5件)

プラズマディスプレイパネルの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-052677 出願人：パナソニック株式会社
電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-068086 出願人：日本電池株式会社
特開平4-106526

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