単一またはいくつかの層のグラフェン・ベースの光検出デバイスおよびその形成方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上野剛史 , 太佐種一 , 市位嘉宏
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-526004
公開番号（公開出願番号）：特表2013-502735
出願日： 2010年08月17日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
要約：

【課題】単一または多層のグラフェンが光伝導層である光検出デバイスを提供する。【解決手段】光検出層として単一または多層グラフェンを用いる光検出器を開示する。異なる電極構成を有する多数の実施形態を開示する。更に、撮像および監視等の用途のために、多数の光検出要素を含む光検出器アレイを開示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

a.基板(10、34)と、 b.前記基板上に堆積されたゲート酸化物層(12)と、 c.前記ゲート酸化物層上に堆積されたグラフェンのチャネル層(14、38)と、 d.前記グラフェン層上に配置されたソースおよびドレイン接点領域(6、8、30、32、60〜67)と、を含む、光検出デバイス。

IPC (1件)：

H01L 31/10

FI (1件)：

H01L31/10 E

Fターム (23件)：

2G065AB02 , 2G065AB03 , 2G065AB04 , 2G065AB05 , 2G065BA02 , 2G065BA34 , 2G065BB04 , 2G065BE08 , 2G065DA13 , 2G065DA18 , 2G065DA20 , 5F049MA14 , 5F049MB02 , 5F049NA10 , 5F049NB05 , 5F049QA09 , 5F049QA20 , 5F049RA04 , 5F049SS03 , 5F049SS08 , 5F049SZ20 , 5F049WA01 , 5F049WA03

引用文献：

審査官引用 (3件)

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