特許
J-GLOBAL ID：201303066730692799
水晶ウエハ
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-239535
公開番号（公開出願番号）：特開2013-098738
出願日： 2011年10月31日
公開日（公表日）： 2013年05月20日
要約：
【課題】 水晶ウエハから水晶片を折り取る際に、水晶片に連結部の一部であるバリが残ることがない水晶ウエハを提供することを課題とする。【解決手段】 水晶ウエハは、支持部2と、連結部3を介して支持部1と一体的に形成された水晶片2とを備えている。連結部3の第1の主面及び第2の主面のそれぞれは、平面透視において、連結部3の幅方向において互いに異なる位置に設けられた凹部K1を有していることを特徴とするものである。連結部3の第1の主面及び第2の主面のそれぞれが平面透視において、連結部3の幅方向において互いに異なる位置に設けられた凹部K1を有していることによって、連結部3の厚みを十分に確保して意図せず折れる可能性を低減させつつ、連結部3の幅方向に割れやすくしてバリが生じる可能性を低減させることができる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
支持部と、
連結部を介して前記支持部と一体的に形成された水晶片とを備え、
前記連結部の第1の主面及び第2の主面のそれぞれが、平面透視において、前記連結部の幅方向において互いに異なる位置に設けられた凹部を有していることを特徴とする水晶ウエハ。
IPC (4件)：
H03H 3/02
, H01L 41/18
, H01L 41/09
, H01L 41/22
H03H3/02 C
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 C
, H01L41/08 L
, H01L41/22 Z
