特許
J-GLOBAL ID:201303070275146001

帯電粒子の帯電量特定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 平木 祐輔 ,  関谷 三男 ,  石川 滝治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-177693
公開番号(公開出願番号):特開2013-040845
出願日: 2011年08月15日
公開日(公表日): 2013年02月28日
要約:
【課題】帯電粒子を撮影する際に要する時間を短縮でき、帯電粒子捕捉効率の高い帯電粒子の帯電量特定装置を提供する。【解決手段】帯電量特定装置100は、吸引部40と、吸引部40を作動させて浮遊する帯電粒子pを含む気体Aを取り込むとともに帯電粒子pをセンシングする検知部10と、検知部10と管路Lで繋がれて検知部10を通過した気体Aが導入される撮影部50と、管路Lに設けられた開閉バルブ30と、検知部10から帯電粒子pのセンシングデータが送信された際に開閉バルブ30を閉制御する制御部20を備え、検知部10で帯電粒子pがセンシングされ、このセンシングデータが制御部20に送信されて開閉バルブ30を閉制御し、帯電粒子pを管路Lにおける開閉バルブ30よりも下流側で捕捉するものであり、撮影部50では帯電粒子pにレーザ光を照射した際の散乱光の受光データから帯電粒子pの帯電量を特定する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
吸引部と、 前記吸引部を作動させて浮遊する帯電粒子を含む気体を取り込むとともに、帯電粒子をセンシングする検知部と、 前記検知部と管路で繋がれ、前記検知部を通過した前記気体が導入されて帯電粒子を撮影する撮影部と、 前記管路に設けられた開閉バルブと、 前記検知部から帯電粒子のセンシングデータが送信された際に前記開閉バルブを閉制御する制御部と、を備え、 前記検知部で帯電粒子がセンシングされ、このセンシングデータが前記制御部に送信されて前記開閉バルブを閉制御し、取り込まれた帯電粒子を前記管路における該開閉バルブよりも下流側で捕捉するようになっており、 前記撮影部はレーザ光を照射する照射機構を具備し、帯電粒子にレーザ光を照射した際に帯電粒子から発せられる散乱光の受光データから帯電粒子の帯電量を特定する、帯電粒子の帯電量特定装置。
IPC (2件):
G01N 27/60 ,  G01N 15/02
FI (2件):
G01N27/60 C ,  G01N15/02 F
Fターム (3件):
2G041BA02 ,  2G041BA15 ,  2G041BA19
引用特許:
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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引用文献:
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