特許
J-GLOBAL ID：201303073558071813
剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-006974
公開番号（公開出願番号）：特開2013-149655
出願日： 2012年01月17日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】基板の剥離処理を適切に行うことができる剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラムを提供すること。【解決手段】実施形態に係る剥離装置は、第1保持部と、第2保持部と、移動機構とを備える。第1保持部は、第1基板を吸着保持する、第2保持部は、第1基板に接合された第2基板を吸着保持する。移動機構は、第2保持部を第1保持部から離す方向へ移動させる。第2保持部は、主吸着部と副吸着部とに分割されて構成される。主吸着部は、第2基板の中央部を含む第1領域を吸着保持する。副吸着部は、第2基板の外周部の一部または全部を含む第2領域を吸着し、主吸着部によって吸着保持された第2基板の第2領域を第1基板から離す方向へ引っ張る。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1基板を吸着保持する第1保持部と、
前記第1基板に接合された第2基板を吸着保持する第2保持部と、
前記第2保持部を前記第1保持部から離す方向へ移動させる移動機構と
を備え、
前記第2保持部は、
前記第2基板の中央部を含む第1領域を吸着保持する主吸着部と、前記第2基板の外周部の一部または全部を含む第2領域を吸着し、前記主吸着部によって吸着保持された第2基板の前記第2領域を前記第1基板から離す方向へ引っ張る副吸着部とに分割されて構成されること
を特徴とする剥離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
4J040NA20
, 4J040PA42
, 5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031FA01
, 5F031FA02
, 5F031FA07
, 5F031FA11
, 5F031FA12
, 5F031FA30
, 5F031HA14
, 5F031HA46
, 5F031HA58
, 5F031MA22
, 5F031MA23
, 5F031MA38
, 5F031PA20
