特許
J-GLOBAL ID：201303074626077570

熱分解窒化ホウ素製容器の製造方法

発明者：
狩野 正樹

狩野 正樹 について

, 
平田 和人

平田 和人 について

, 
中島 亮二

中島 亮二 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 好宮 幹夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-270053
公開番号（公開出願番号）：特開2003-073829
特許番号：特許第4823447号
出願日： 2001年09月06日
公開日（公表日）： 2003年03月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 化学気相成長法(CVD法)により耐熱性基材上に熱分解窒化ホウ素を堆積し、その後堆積した熱分解窒化ホウ素層を前記基材より分離することによって熱分解窒化ホウ素製容器を製造する方法であって、前記製造する熱分解窒化ホウ素製容器を、少なくとも容器の開口端にリップ部があり、該リップ部の外縁が折り返されている構造を有するものとし、前記耐熱性基材として熱膨張係数が4.3×10-6/°C以上且つ6.1×10-6/°C以下であるグラファイト製の基材を用い、該耐熱性基材の熱膨張係数αAと熱分解窒化ホウ素の成長方向に対して垂直方向(a方向)の熱膨張係数αBの関係が0.1×10-6/°C<(αA-αB)<2.0×10-6/°Cとなるようにして、熱分解窒化ホウ素製容器を製造することを特徴とする熱分解窒化ホウ素製容器の製造方法。
IPC (3件)：
C23C 16/01 ( 200 6.01) ,  C23C 16/34 ( 200 6.01) ,  C30B 23/08 ( 200 6.01)
FI (3件)：
C23C 16/01 ,  C23C 16/34 ,  C30B 23/08 M
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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