特許
J-GLOBAL ID：201303076277378439

ハイブリッドガスインジェクタ

発明者：
オムーア ファーガル

オムーア ファーガル について

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ウィリアムズ カール

ウィリアムズ カール について

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ル ナム

ル ナム について

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ブラウン ヴィンセント

ブラウン ヴィンセント について


出願人/特許権者：
フェローテック(ユーエスエー)コーポレイション

フェローテック(ユーエスエー)コーポレイション について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-531072
公開番号（公開出願番号）：特表2013-506300
出願日： 2010年09月24日
公開日（公表日）： 2013年02月21日
要約：
複数のウェーハを支持する塔とチューブ状のライナとの間の縦型炉内の空間に処理ガスを注入するのに使用するためのガスインジェクタは、第1の遠位端と、第1の軸に沿って延在する第1の内腔とを有し、シリコン、石英、及びシリコンカーバイドで構成される群から選択された第1の単一の材料からなる、チューブ状ストローと、ストロー部に離脱可能に接続され、第1の材料とは異なる第2の材料からなるコネクタであって、第1の軸に垂直な第2の軸に沿って延在する第2の内腔を有し、第1の内腔と流体連結し、ガス供給ラインに接続可能な遠位端を有する供給チューブを含むコネクタとを含んでいる。
請求項（抜粋）：
複数のウェーハを支持する塔とチューブ状のライナとの間の縦型炉のホットゾーンに処理ガスを注入するためのガスインジェクタであって、 該ガスインジェクタは、 チューブ状ストローであって、第1の遠位端から第1の近位端へ該チューブ状ストローの第1の軸に沿って延在する第1の内腔を規定し、該チューブ状ストローが、シリコン、石英、及びシリコンカーバイドのうちの少なくとも1つから選択された第1の材料からなる、チューブ状ストローと、 該チューブ状ストローに離脱可能に接続されると共に該チューブ状ストローと流体連結するコネクタであって、該コネクタが、前記第1の材料とは異なる第2の材料からなり、該コネクタが、供給チューブを含み、該供給チューブが、当該供給チューブの第2の軸に沿って延在する第2の内腔を規定し、該第2の軸が、前記第1の軸に対して実質的に垂直であり、前記コネクタが、(i)前記供給チューブの第2の遠位端でガス供給ラインから前記処理ガスを受け、(ii)前記供給チューブの第2の近位端で前記チューブ状ストローの前記第1の近位端に前記処理ガスを送り出すように構成され、配置されている、コネクタと を備えるガスインジェクタ。
IPC (2件)：
H01L 21/31 ,  C23C 16/455
FI (2件)：
H01L21/31 B ,  C23C16/455
Fターム (18件)：
4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030BA40 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030EA03 ,  4K030EA04 ,  4K030FA10 ,  4K030KA04 ,  4K030LA15 ,  5F045AA03 ,  5F045AB03 ,  5F045AB32 ,  5F045AB33 ,  5F045DP19 ,  5F045EC02 ,  5F045EF02 ,  5F045EF11
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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