特許
J-GLOBAL ID：201303076733940322
ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法およびダイヤモンドライクカーボン膜付き金属物
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
,
,
代理人 (2件)：
三好 秀和
, 高橋 俊一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-087395
公開番号（公開出願番号）：特開2013-040400
出願日： 2012年04月06日
公開日（公表日）： 2013年02月28日
要約：
【課題】金属製の成膜対象物上にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜することができるダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法およびダイヤモンドライクカーボン膜付き金属物を提供することを課題とする。【解決手段】メタンガスを含む成膜用ガスRGを流動させる流動経路14に、ダイヤモンドライクカーボン膜の成膜対象となる金属製の成膜対象物30を配置する。そして、成膜用ガスRGを所定流量で流動経路14に流すとともに成膜対象物30を室温から所定温度にまで上昇させるプロセスを経ることにより、成膜対象面30fの不純物と成膜用ガスRGとを反応させることで成膜対象面30fから不純物を除去し、更に、不純物が除去されることで露出した金属元素によって成膜用ガスRGを反応させて成膜対象面30fにダイヤモンドライクカーボン膜34を成膜する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
メタンガスを含む成膜用ガスを流動させる流動経路に、ダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する金属製の成膜対象物を配置する配置工程と、
前記成膜用ガスを所定流量で前記流動経路に流すとともに前記成膜対象物を室温から所定温度にまで上昇させるプロセスを経ることにより、前記成膜対象物の成膜対象面の不純物と前記成膜用ガスとを反応させることで前記成膜対象面から前記不純物を除去し、更に、前記不純物が除去されることで露出した金属元素に前記成膜用ガスを反応させて前記成膜対象面にダイヤモンドライクカーボン膜を成膜する不純物除去・成膜工程と、
を備えたことを特徴とするダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
4K030AA10
, 4K030AA18
, 4K030BA28
, 4K030CA02
, 4K030CA15
, 4K030CA17
, 4K030DA03
, 4K030FA10
, 4K030JA10
, 4K030JA11
