特許

J-GLOBAL ID：201303078699573369

非熱的大気圧プラズマ発生装置

発明者： キンデル、エックハルト ,  レンブケ、ノルベルト ,  スティーバー、マンフレート ,  ティッツ、リュディガー ,  ウェルトマン、クラウス-ディーター ,  ヘルウィグ、ルッツ
出願人/特許権者： ライプニッツ-インスティトゥート フュール プラズマフォルシュング ウント テヒノロギー エー.ファウ.
代理人 (1件)： 新保 斉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-523304
公開番号（公開出願番号）：特表2013-501332
出願日： 2010年07月31日
公開日（公表日）： 2013年01月10日
要約：

本発明は、プラズマの発生部分において、接地された電極として機能する金属ハウジングを備え、その金属ハウジンング内には、HFジェネレータと、高周波数用の閉じられたフェライト磁心を備えるHF共振コイルと、ガスノズルとして機能する絶縁体と、この絶縁体に取り付けられている高圧電極とが、プロセスガスによって取り巻かれるか、または通過されるように配置されている、大気圧条件下におけるHF励起コールドプラズマの発生装置を提供する。好ましい実施形態では、取り外し可能な導電性のキャップを備え、そのキャップは前方部分にスリットまたは穴を有する。本発明は、美容及び医療用材料のプラズマ処理に有効に使用することができる。本発明により、小型化された携帯型装置内にプラズマノズル及び制御エレクトロニクスを組み込むことによって、または短い高電圧ケーブルを使用することによって、電磁適合性(EMC)ガイドラインの遵守が保証され、出力損失を最小化することにより携帯利用を実現することが可能となる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマ(1)の発生部分において、接地された電極(2)として機能する金属ハウジング(7)内に、HFジェネレータ(8)と、高周波用の閉じられたフェライト磁心を備えるHF共振コイル(5)と、ガスノズルとして機能する絶縁体(4)と、その絶縁体(4)に取り付けられる高圧電極(3)とが、プロセスガス(6)によって取り巻かれるかまたは通過されるように配置されている ことを特徴とするコールドプラズマジェットの発生装置。

IPC (4件)：

H05H 1/24 ,  H05H 1/36 ,  H05H 1/30 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

H05H1/24 ,  H05H1/36 ,  H05H1/30 ,  H05H1/46 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第6958063号
  
• 電気手術器具
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平10-545308   出願人：ガイラス・メディカル・リミテッド
• 真空処理装置
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-526944   出願人：ユナキス・バルツェルス・アクチェンゲゼルシャフト
• 基板から酸化金属を除去する装置及び方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2008-533461   出願人：ラムリサーチコーポレーション