特許
J-GLOBAL ID：201303078989679977

波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器

発明者：
佐野 朗

佐野 朗 について

, 
細田 達矢

細田 達矢 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-210326
公開番号（公開出願番号）：特開2013-072930
出願日： 2011年09月27日
公開日（公表日）： 2013年04月22日
要約：
【課題】反射膜の帯電を防止可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器を提供する。【解決手段】波長可変干渉フィルター5は、固定基板51と、可動基板52と、固定基板51に設けられた固定反射膜54と、可動基板52に設けられ、固定反射膜54と反射膜間ギャップG1を介して対向する可動反射膜55と、反射膜間ギャップG1を変化させる静電アクチュエーター56と、可動基板52にに設けられ、接地された可動電極562と、を備え、可動電極562は、平面視において、光干渉領域Ar1を覆って可動基板52に設けられ、可動反射膜55は、可動電極562を介して可動基板52に設けられ、固定反射膜54は、可動電極562に電気的に接続された。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第一基板と、 前記第一基板に対向する第二基板と、 前記第一基板に設けられた第一反射膜と、 前記第二基板に設けられ、前記第一反射膜と反射膜間ギャップを介して対向する第二反射膜と、 前記反射膜間ギャップを変化させるギャップ変更部と、 前記第一基板に設けられ、接地された第一電極と、を備え、 前記第一電極は、前記第一基板及び前記第二基板を基板厚み方向から見た平面視において、前記第一反射膜及び前記第二反射膜が互いに対向して設けられた光干渉領域を覆って設けられ、 前記第一反射膜は、前記第一電極を介して前記第一基板に設けられ、 前記第二反射膜は、前記第一電極に電気的に接続されている ことを特徴とする波長可変干渉フィルター。
IPC (2件)：
G02B 26/00 ,  G02B 5/28
FI (2件)：
G02B26/00 ,  G02B5/28
Fターム (41件)：
2G020AA03 ,  2G020AA04 ,  2G020AA08 ,  2G020BA02 ,  2G020BA03 ,  2G020BA05 ,  2G020BA12 ,  2G020BA20 ,  2G020CA04 ,  2G020CA12 ,  2G020CC23 ,  2G020CC26 ,  2G020CD03 ,  2G020CD13 ,  2G020CD22 ,  2G020CD33 ,  2G020CD37 ,  2G020DA05 ,  2G020DA12 ,  2G020DA24 ,  2G020DA66 ,  2H048GA01 ,  2H048GA04 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA32 ,  2H048GA61 ,  2H141MA22 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MD02 ,  2H141MD04 ,  2H141MD38 ,  2H141MF07 ,  2H141MG10 ,  2H148GA01 ,  2H148GA04 ,  2H148GA13 ,  2H148GA25 ,  2H148GA32 ,  2H148GA61
引用特許：
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM