特許
J-GLOBAL ID：201303079246679871

露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法

発明者：
荒井 大

荒井 大 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-114179
公開番号（公開出願番号）：特開2013-219377
出願日： 2013年05月30日
公開日（公表日）： 2013年10月24日
要約：
【課題】周囲の気体の屈折率変動の影響を低減させて、ステージの位置決め精度等を向上できる露光装置である。【解決手段】投影光学系(PL)を介してウエハステージ(WST)上のウエハ(W)に露光用の照明光を照射して、ウエハ(W)に所定のパターンを形成する露光装置であって、ウエハステージ(WST)に設けられたスケールと、このスケールの位置情報を検出する複数のXヘッド(66)と、複数のXヘッド(66)を一体的に支持し、線膨張率がウエハステージ(WST)の本体部よりも小さい計測フレーム(21)と、複数のXヘッド(64)の検出結果からウエハステージ(WST)の変位情報を求める制御装置とを備える。 【選択図】図1
請求項（抜粋）：
投影光学系を介して照明光で基板を露光する露光装置であって、 前記投影光学系を支持するフレーム機構と、 それぞれ反射型の格子部を有し、前記投影光学系の光軸に直交する所定面とほぼ平行に前記格子部が並置されるように前記フレーム機構に吊り下げ支持される複数の格子部材と、 前記基板を保持するホルダを有し、前記複数の格子部材の下方で移動可能であるとともに、その上面に形成される凹部内に前記ホルダが設けられるステージと、 前記ステージに設けられ、前記複数の格子部に対してその下方からそれぞれビームを照射する複数のヘッドを有し、前記ステージの位置情報を計測するエンコーダシステムと、を備え、 前記複数のヘッドはそれぞれ、前記上面よりも外側に位置するように前記ステージに設けられる。
IPC (4件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/20 ,  G01B 11/00 ,  H01L 21/67
FI (5件)：
H01L21/30 515G ,  G03F7/20 501 ,  H01L21/30 516B ,  G01B11/00 G ,  H01L21/68
Fターム (79件)：
2F065AA03 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065DD03 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065EE02 ,  2F065FF16 ,  2F065FF48 ,  2F065FF52 ,  2F065FF55 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH14 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL42 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ25 ,  2F065TT02 ,  2H097BA10 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA32 ,  5F131BA13 ,  5F131CA18 ,  5F131DA05 ,  5F131DA09 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB87 ,  5F131DD43 ,  5F131DD76 ,  5F131EA02 ,  5F131EA06 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EA24 ,  5F131EA25 ,  5F131EB01 ,  5F131FA26 ,  5F131GA05 ,  5F131GA22 ,  5F131GA32 ,  5F131GA52 ,  5F131GA53 ,  5F131JA16 ,  5F131JA28 ,  5F131JA32 ,  5F131KA02 ,  5F131KA14 ,  5F131KA15 ,  5F131KA16 ,  5F131KA34 ,  5F131KA35 ,  5F131KA44 ,  5F131KA47 ,  5F131KA54 ,  5F131KB07 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32 ,  5F131KB48 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55 ,  5F131KB56 ,  5F131KB58 ,  5F146BA04 ,  5F146CC01 ,  5F146CC04 ,  5F146CC20 ,  5F146DB05 ,  5F146DC12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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