特許
J-GLOBAL ID：201303079724651295
投影光学系
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-281652
公開番号（公開出願番号）：特開2013-102177
出願日： 2012年12月25日
公開日（公表日）： 2013年05月23日
要約：
【課題】収差の発生を抑制できる投影光学系を提供する。【解決手段】投影光学系は、第1面からの照射光を第2面に供給して、第1面の像を第2面に投影する。投影光学系は、照射光の光路に配置可能であり、照射光のうち、第1偏光成分の光と第2偏光成分の光との間で発生する位相差を低減する位相差補償部材E1と、光路に位相差補償部材E1が配置されるように位相差補償部材E1をリリース可能に保持する保持機構10とを備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
第1面からの照射光を第2面に供給して、前記第1面の像を前記第2面に投影する投影光学系であって、
前記照射光の光路に配置可能であり、前記照射光のうち、第1偏光成分の光と第2偏光成分の光との間で発生する位相差を低減する位相差補償部材と、
前記光路に前記位相差補償部材が配置されるように前記位相差補償部材をリリース可能に保持する保持機構と、を備えた投影光学系。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, G02B 13/24
H01L21/30 515D
, H01L21/30 516A
, G03F7/20 521
, G02B13/24
2H087KA21
, 2H087LA01
, 2H087TA01
, 2H087TA04
, 2H087TA05
, 5F146CB08
, 5F146CB09
, 5F146CB12
, 5F146CB15
, 5F146CB45
, 5F146DA13
, 5F146DB05
