特許
J-GLOBAL ID：201303079873792225
無線周波エネルギー特性測定装置及び方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (8件)：
青木 篤
, 鶴田 準一
, 水谷 好男
, 森 啓
, 石田 敬
, 下道 晶久
, 西山 雅也
, 樋口 外治
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-024350
公開番号（公開出願番号）：特開2001-326218
特許番号：特許第5021121号
出願日： 2001年01月31日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 単一伝送手段上に複数の周波数で複数の電力出力を発生するための複数の発生手段であって、該複数の電力出力の各々が関連する特性を有する複数の発生手段と、
前記複数の電力出力の前記関連する特性を検出するための共通の検出手段であって、該共通の検出手段が第1の周波数で第1の発生出力の前記関連する特性を検知し、そして第2の周波数に自動的に切り替えて、該第2の周波数で第2の発生出力の前記関連する特性を検知するための手段を含む共通の検出手段と、
を具備する無線周波エネルギー特性測定装置。
IPC (2件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, H05H 1/46 ( 200 6.01)
H01L 21/302 101 G
, H05H 1/46 R
