特許
J-GLOBAL ID：201303080407359129
基板ホルダ装置及び基板張り合わせ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 信和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-129239
公開番号（公開出願番号）：特開2013-232663
出願日： 2013年06月20日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：
【課題】 基板ホルダ同士の固定具が必要のなく直径の大きくならない基板ホルダ装置を提供する。【解決手段】 基板ホルダ装置は、第1面と第2面とを有する非磁性体で構成されこの第1面で第1基板を保持する第1基板ホルダと、第3面と第4面とを有する非磁性体で構成され、この第3面で第2基板を保持する第2基板ホルダと、第1基板ホルダの外周より内側に配置された第1磁気発生部と、第2基板ホルダの外周より内側に配置された第2磁気発生部と、第2基板ホルダの第4面に形成され第2磁気発生部に給電する第1端子と、を備える。そして、この基板ホルダ装置において、第2基板ホルダがステージに載置されている際に、第1端子に電力が給電される。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
第1面と第2面とを有する非磁性体で構成され、この第1面で第1基板を保持する第1基板ホルダと、
第3面と第4面とを有する非磁性体で構成され、この第3面で第2基板を保持する第2基板ホルダと、
前記第1基板ホルダの外周より内側に配置された第1磁気発生部と、
前記第2基板ホルダの外周より内側に配置された第2磁気発生部と、
前記第2基板ホルダの第4面に形成され前記第2磁気発生部に給電する第1端子と、を備え、
前記第2基板ホルダがステージに載置されている際に、前記第1端子に電力が給電されることを特徴とする基板ホルダ装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/02 B
, H01L21/02 Z
, B23K20/00 340
4E167AA08
, 4E167BB06
, 4E167DA05
