特許
J-GLOBAL ID：201303080787721747
超純水製造装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
重野 剛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-079176
公開番号（公開出願番号）：特開2013-202610
出願日： 2012年03月30日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】サブタンクに導入される温超純水の温度を低下させることにより、冷却用熱交換器の負荷が低減されると共に、温超純水とするための熱交換器の熱源コストを低減することができる超純水製造装置を提供する。【解決手段】熱交換器15及び逆浸透膜分離装置12を備える一次純水製造装置10に原水を通水して一次純水を製造し、この一次純水を二次純水製造装置20に通水して超純水を製造する超純水製造装置において、二次純水製造装置20からの二次純水を第2熱交換器42及び第3熱交換器43で加熱してユースポイント40へ送る。第2熱交換器42の熱源はユースポイント40からの戻り水である。第3熱交換器43の熱源は蒸気である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一次純水製造装置と、該一次純水製造装置からの一次純水を処理して超純水を製造する二次純水製造装置と、該二次純水製造装置からの超純水を加熱するための熱交換器とを有し、該熱交換器で加熱された超純水をユースポイントに供給する超純水製造装置において、
該熱交換器として、ユースポイントからの戻り水を熱源とする前段側熱交換器と、該前段側熱交換器で加熱された超純水をさらに加熱する後段側熱交換器とを備えたことを特徴とする超純水製造装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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