セラミックスヒータ

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：特許業務法人創成国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-044846
公開番号（公開出願番号）：特開2013-182745
出願日： 2012年02月29日
公開日（公表日）： 2013年09月12日
要約：

【課題】載置面の温度分布の制御精度向上を図ることができるセラミックスヒータを提供する。【解決手段】相互に短絡しないように基体10に埋設されている第1発熱抵抗体R1及び第2発熱抵抗体R2の存在範囲が、基体10の法線方向について重なっている指定区域が存在するように両発熱抵抗体が配置される。指定区域において第1発熱抵抗体R1及び第2発熱抵抗体R2のそれぞれのワット密度の分布態様が異なるように構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

セラミックス焼結体からなり、半導体ウエハが載置される載置面を有する基体と、相互に短絡しないように前記基体に埋設されている第1発熱抵抗体及び第2発熱抵抗体と、を備えているセラミックスヒータであって、前記載置面の法線方向について前記第1発熱抵抗体及び前記第2発熱抵抗体の存在範囲が重なっている指定区域が存在するように前記第1発熱抵抗体及び前記第2発熱抵抗体が配置され、前記指定区域において前記第1発熱抵抗体及び前記第2発熱抵抗体のそれぞれのワット密度の分布態様が異なるように構成されていることを特徴とするセラミックスヒータ。

IPC (3件)：

H05B 3/10 , H05B 3/74 , H05B 3/00

FI (3件)：

H05B3/10 A , H05B3/74 , H05B3/00 370

Fターム (15件)：

3K058AA41 , 3K058BA14 , 3K058CE12 , 3K058CE19 , 3K058CE23 , 3K092PP20 , 3K092QA05 , 3K092QB25 , 3K092QB44 , 3K092QB49 , 3K092RF03 , 3K092RF11 , 3K092RF19 , 3K092RF26 , 3K092VV21

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-233643 出願人：住友大阪セメント株式会社
基板加熱装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-026481 出願人：日本碍子株式会社
セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-169240 出願人：株式会社日本セラテック

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