特許
J-GLOBAL ID：201303082339351290
搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-263147
公開番号（公開出願番号）：特開2013-049133
出願日： 2012年11月30日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
要約：
【課題】筐体の大型化および清浄度の低下を防止可能な搬送ロボット、筐体、半導体製造装置およびソータ装置を提供すること。【解決手段】搬送ロボットの胴体は、上端が第1アームの最下部より下方となるよう位置するとともに、搬送ロボットが垂直になるよう固定させる固定部が設けられた垂直面を有する板状のプレートと、垂直面に設けられた昇降機構と、第1アームを回転自在に支持し、昇降機構によって垂直面を昇降可能な移動ユニットとを備える。また、第1アームの最下部は、胴体の上端と接触しない程度に胴体へ近づけられている。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
胴体と、前記胴体の上で水平方向に回転自在な第1アームと、前記第1アームの先端上で水平方向に回転自在な第2アームと、前記第2アームの先端上で水平方向に回転自在なハンドと、を備え、前記ハンドに搭載した基板を搬送する搬送ロボットにおいて、
前記胴体が、
上端が前記第1アームの最下部より下方となるよう位置するとともに、前記搬送ロボットが垂直になるよう固定させる固定部が設けられた垂直面を有する板状のプレートと、
前記垂直面に設けられた昇降機構と、
前記第1アームを回転自在に支持し、前記昇降機構によって前記垂直面を昇降可能な移動ユニットと
を備え、
前記第1アームの最下部は、
前記胴体の上端と接触しない程度に前記胴体へ近づけられたこと
を特徴とする搬送ロボット。
IPC (4件)：
B25J 9/06
, H01L 21/677
, B65G 49/06
, B65G 49/07
B25J9/06 D
, H01L21/68 A
, B65G49/06 Z
, B65G49/07 C
3C707AS24
, 3C707BS15
, 3C707CT04
, 3C707CT07
, 3C707HS27
, 3C707HT20
, 3C707NS12
, 5F131AA02
, 5F131AA03
, 5F131CA12
, 5F131CA38
, 5F131DA02
, 5F131DA32
, 5F131DB04
, 5F131DB52
, 5F131DB62
, 5F131DB76
, 5F131DB88
, 5F131DB92
, 5F131GA13
, 5F131HA07
, 5F131HA29
, 5F131JA08
, 5F131JA28
