特許
J-GLOBAL ID：201303082695458783
蒸着用タブレットとその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上田 章三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-049830
公開番号（公開出願番号）：特開2013-184840
出願日： 2012年03月06日
公開日（公表日）： 2013年09月19日
要約：
【課題】錫等をドーパントとして含む酸化インジウム焼結体で構成され、高パワー電子ビームや高出力プラズマが照射されても破損し難い蒸着用タブレットと製法を提供する。【解決手段】この蒸着用タブレットは、仮焼された第一原料粉末と未仮焼の第二原料粉末との混合粉を焼成して製造され、Sn、W、Ti等から選択される少なくとも1種をドーパントとして含有する酸化インジウム焼結体により構成されると共に相対密度が50%以上80%以下である蒸着用タブレットであって、酸化インジウム焼結体を構成しかつ第一原料粉末に由来する第一焼結粒の平均粒径をD1とし、酸化インジウム焼結体を構成しかつ第二原料粉末に由来する第二焼結粒の平均粒径をD2としたとき、第一焼結粒の平均粒径D1に対する第二焼結粒の平均粒径D2の粒径比率[(D2/D1)×100(%)]が3%以上15%以下であることを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
仮焼された第一原料粉末と未仮焼の第二原料粉末との混合粉を焼成して製造され、錫、タングステン、チタン、セリウム、ガリウム、ニオブ、ガドリニウム、ジルコニウムから選択される少なくとも1種をドーパントとして含有する酸化インジウム焼結体により構成されると共に、相対密度が50%以上80%以下である蒸着用タブレットにおいて、
上記酸化インジウム焼結体を構成しかつ第一原料粉末に由来する第一焼結粒の平均粒径をD1とし、上記酸化インジウム焼結体を構成しかつ第二原料粉末に由来する第二焼結粒の平均粒径をD2としたとき、第一焼結粒の平均粒径D1に対する第二焼結粒の平均粒径D2の粒径比率[すなわち(D2/D1)×100(%)]が3%以上15%以下であることを特徴とする蒸着用タブレット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B35/00 J
, C23C14/24 E
4G030AA11
, 4G030AA14
, 4G030AA16
, 4G030AA17
, 4G030AA20
, 4G030AA24
, 4G030AA34
, 4G030AA39
, 4G030BA02
, 4G030BA15
, 4G030CA07
, 4G030CA08
, 4G030GA01
, 4G030GA03
, 4G030GA05
, 4G030GA08
, 4G030GA09
, 4G030GA11
, 4G030GA14
, 4G030GA16
, 4G030GA22
, 4G030GA27
, 4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA45
, 4K029BA50
, 4K029BC09
, 4K029CA01
, 4K029DB05
, 4K029DB08
, 4K029DB21
