特許
J-GLOBAL ID:201303082780295192

イオン移動管

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 山田 卓二 ,  田中 光雄 ,  岡部 博史
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-515677
公開番号(公開出願番号):特表2013-531342
出願日: 2011年05月03日
公開日(公表日): 2013年08月01日
要約:
前後方向に沿って順に積み重ねる、中心イオン化源室孔を有するイオン化源室(1)と、イオンゲート(2)と、中心移動管チャンバを有するドリフト領域ユニット(3)と、抑制グリッド(4)と、ファラデーディスク(5)とを備えるイオン移動管において、前記ドリフト領域ユニット(3)は、第1の絶縁体と、第1の絶縁体の正面と裏面にそれぞれに同心状に固定された第1の金属電極片を含む。ドリフト領域ユニット(3)は、一体の第1の絶縁体と第1の金属電極片とで構成されるため、構造が簡単であり、取り外し及び取り付も便利である。
請求項(抜粋):
前後方向に沿って順に積み重ねる、中心イオン化源室孔を有するイオン化源室と、イオンゲートと、中心移動管チャンバを有するドリフト領域ユニットと、抑制グリッドと、ファラデーディスクとを備え、前記ドリフト領域ユニットは、第1の絶縁体と、第1の絶縁体の正面と裏面にそれぞれに同心状に固定された第1の金属電極片を含むことを特徴とするイオン移動管。
IPC (1件):
H01J 49/06
FI (1件):
H01J49/06
Fターム (2件):
5C038FF10 ,  5C038FF13
引用特許:
出願人引用 (9件)
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