イオン移動度計およびイオン移動度計測方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 寺崎史朗 , 石田悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-256181
公開番号（公開出願番号）：特開2008-077980
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2008年04月03日
要約：

【課題】軟X線を用いてベースガスイオンを生成し、このベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応により試料分子イオンを生成することによって、安全性が高く、装置の汚染、試料の分解、及びイオン化室の電界への影響などを抑制でき、試料分子を効率よくイオン化できるイオン移動度計およびイオン移動度計測方法を提供する。【解決手段】イオン移動度計1は、試料分子をイオン化するイオン化装置2と、イオン化された試料分子の移動度を計測するドリフト室11とを備える。イオン化装置2は、ベースガスをイオン化するとともにベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室20と、イオン化室20内へ軟X線を照射する軟X線管3とを有する。軟X線管3は、軟X線の照射量を増減可能に構成されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

試料分子をイオン化するイオン化装置と、イオン化された前記試料分子の移動度を計測するドリフト室とを備え、前記イオン化装置が、ベースガスをイオン化するとともに該ベースガスイオンと試料分子とのイオン分子反応を促すイオン化室、前記ベースガス及び前記試料分子を前記イオン化室内に導入する一または複数の導入口、及び、イオン化された前記試料分子を前記ドリフト室へ排出する排出口を有する本体部と、電子源、及び該電子源からの電子線を受けて軟X線を発生するターゲット部を含み、前記イオン化室内へ前記軟X線を照射する軟X線源とを有し、前記軟X線源が、前記軟X線の照射量を増減可能に構成されていることを特徴とする、イオン移動度計。

IPC (7件)：

H01J 49/10 , H01J 35/08 , H01J 35/06 , H01J 49/40 , H01J 49/16 , G01N 27/64 , G01N 27/62

FI (7件)：

H01J49/10 , H01J35/08 F , H01J35/06 B , H01J49/40 , H01J49/16 , G01N27/64 , G01N27/62 G

Fターム (14件)：

2G041AA07 , 2G041CA02 , 2G041DA09 , 2G041DA12 , 2G041DA16 , 2G041EA05 , 2G041GA14 , 2G041GA17 , 2G041GA22 , 5C038GG13 , 5C038GH04 , 5C038GH11 , 5C038GH13 , 5C038GH17

引用特許：

出願人引用 (10件)

電子源による電離箱
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-216270 出願人：ブルーカーサクソニアアナリティックゲーエムベーハー
イオン移動度分光計及びイオン移動度分光法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-409737 出願人：株式会社日立製作所
光除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-243494 出願人：株式会社キーエンス

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審査官引用 (10件)

イオン移動度分光計及びイオン移動度分光法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-409737 出願人：株式会社日立製作所
電子源による電離箱
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-216270 出願人：ブルーカーサクソニアアナリティックゲーエムベーハー
光除電装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-243494 出願人：株式会社キーエンス

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