加速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：恩田博宣 , 恩田誠
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-143536
公開番号（公開出願番号）：特開2002-340926
特許番号：特許第4734756号
出願日： 2001年05月14日
公開日（公表日）： 2002年11月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】所定の変位方向を有して基板に対して浮動支持された第1可動部と、前記変位方向を有して前記第1可動部に対して支持され、該変位方向に加速度が加えられることにより該変位方向に変位する第2可動部と、前記第1可動部の前記基板に対する前記変位方向への変位を検出する第1検出手段と、前記検出された第1可動部の変位に基づき該変位を抑制するように力を印加する印加手段と、前記第2可動部の前記基板に対する前記変位方向への変位を検出する第2検出手段とを備え、前記検出された第2可動部の変位に基づき加えられた加速度を検出することを特徴とする加速度センサ。

IPC (3件)：