特許

J-GLOBAL ID：201303084207549271

放電ランプ

発明者： 菊池 孝幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-199226
公開番号（公開出願番号）：特開2012-253041
出願日： 2012年09月11日
公開日（公表日）： 2012年12月20日
要約：

【課題】放電ランプの口金部材に対する冷却作用が大きい光源装置を提供する。【解決手段】放電用の電極を収納したガラス管(25)と、ガラス管(25)に連結された口金部(28)とを有する放電ランプと、連結ケーブル(72)とを備え、連結ケーブル(72)のリング状部材(74A)が放電ランプの口金部(28)に取り付けられるとともに、リング状部材(74A)に冷風用の送風路(74Ac)が形成され、連結ケーブル(72)の電力ケーブル(33D)及びリング状部材(74A)を介して電源(32)から口金部(28)に電力を供給し、連結ケーブル(72)の送風用配管(35D)及びリング状部材(74A)を介して送風装置(34)から口金部(28)に冷風を供給する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

ガラス部材の内部に放電用の電極を収納した放電ランプであって、 前記ガラス部材に連結された口金部材と、 前記口金部材に取り付けられ、導電性材料で形成される中継部材と、 前記中継部材に固定され、前記中継部材を介して前記口金部材に放電用の電力を供給可能な第1のケーブルと、 前記中継部材に設けられ、前記口金部材に冷却用媒体を供給するための流路と、 前記中継部材に固定され、前記流路を介して前記口金部材に冷却用媒体を供給可能な第2のケーブルとを備えることを特徴とする放電ランプ。

IPC (2件)：

H01J 61/52 ,  H01J 5/50

FI (2件)：

H01J61/52 B ,  H01J5/50

Fターム (1件)：

5C039AA02

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-018507   出願人：ウシオ電機株式会社
• 露光装置及び方法、デバイス製造方法ならびに放電灯
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-081378   出願人：キヤノン株式会社

審査官引用 (5件)

• 特開平4-032154
  
• 紫外線照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-224631   出願人：ウシオ電機株式会社
• 光源装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-018507   出願人：ウシオ電機株式会社
• アークランプの冷却方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-610045   出願人：イマックスコーポレーション
• 照明装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-237219   出願人：浜松ホトニクス株式会社