露光装置及び方法、デバイス製造方法ならびに放電灯

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-081378
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283898
出願日： 1998年03月27日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】種類の異なる放電灯にも柔軟に対応できる露光装置を提供すること。【解決手段】露光装置の光源に装着した放電灯の種類を認識するセンサを設け、該認識に基づいて光学条件、電源条件及び冷却条件の少なくとも1つを設定する。例えば、放電灯の種類に応じて照明光学系のズームレンズを調整して光学条件を変更する、もしくは放電灯の種類に応じて該放電灯への許容電力範囲を設定して電源条件を変更する、もしくは放電灯の冷却能力を変更する。

請求項（抜粋）：

光源として放電灯を用いる露光装置において、保持部に装着した放電灯の種類を認識する、もしくは該保持部への放電灯の装着の有無を認識するセンサを設けたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 C , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (14件)

特開昭61-176116
特開昭61-020322
露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-133495 出願人：山形日本電気株式会社

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