特許
J-GLOBAL ID：201303087387040761
照射装置及び照射方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
三好 秀和
, 伊藤 正和
, 松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-126751
公開番号（公開出願番号）：特開2013-248659
出願日： 2012年06月04日
公開日（公表日）： 2013年12月12日
要約：
【課題】簡単な構成で、レーザ光の光強度分布を容易に調節できる照射装置を提供する。【解決手段】照射装置が、レーザ光を出射する出射部1と、出射部1から出射されたレーザ光の偏光状態を調整する偏光調整部21と、偏光調整部21により偏光方向を調整されたレーザ光を、偏光方向の成分に応じて複数に分割する偏光分割部22と、偏光分割部22により分割されたレーザ光を、物理的に連続する照射領域において、互いにずらして照射する照射部3とを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
レーザ光を出射する出射部と、
前記出射部から出射されたレーザ光の偏光状態を調整する偏光調整部、前記偏光調整部により偏光方向を調整されたレーザ光を、偏光方向の成分に応じて複数に分割する偏光分割部を備える分布制御部と、
前記分布制御部において分割されたレーザ光を、物理的に連続する照射領域において、互いにずらして照射する照射部と
を備えることを特徴とする照射装置。
IPC (6件)：
B23K 26/067
, B23K 26/06
, B23K 26/00
, B23K 1/005
, H01S 3/10
, H01S 3/00
B23K26/067
, B23K26/06 Z
, B23K26/00 N
, B23K26/00 M
, B23K1/005 A
, B23K1/005 D
, H01S3/10 A
, H01S3/00 B
4E068CA02
, 4E068CB10
, 4E068CD04
, 4E068CD08
, 4E068CE08
, 4E068DA11
, 5F172NN28
, 5F172NR02
, 5F172NR13
, 5F172ZZ01
