特許
J-GLOBAL ID：201303087490306281

振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器

発明者：
大澤 征司

大澤 征司 について

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菊島 正幸

菊島 正幸 について

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菊池 尊行

菊池 尊行 について

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山口 啓一

山口 啓一 について

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磯野 裕一

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出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-016390
公開番号（公開出願番号）：特開2013-156127
出願日： 2012年01月30日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
要約：
【課題】振動モレ現象によって生じる駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対する影響を防止し、振動特性を向上させた振動片を提供する。【解決手段】振動体4から延出された第1梁61と連結され、振動体4を支持している第1支持部51と、第1支持部51に設けられ、第1梁61の延出方向と交わる方向に沿って離間して並設されている検出信号端子714および検出接地端子724と、を備え、検出信号端子714と検出接地端子724との間で第1梁61と第1支持部51とが連結されており、検出信号端子714と検出接地端子724との間には、第1支持部51の表裏方向の厚さが薄くなるように形成されている薄肉部54a、または第1支持部51が表裏方向に貫通除去された貫通部が設けられている。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
振動体と、 前記振動体から延出された梁と連結され、前記振動体を支持している支持部と、 前記支持部に設けられ、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されている少なくとも2つの固定部と、を備え、 前記2つの固定部間で前記梁と前記支持部とが連結されており、 前記2つの固定部間には、前記支持部の表裏方向の厚さが前記支持部の前記固定部が設けられている部分よりも薄くなるように形成されている薄肉部、または前記支持部が表裏方向に貫通除去された貫通部が、設けられていることを特徴とする振動片。
IPC (4件)：
G01C 19/560 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/08
FI (4件)：
G01C19/56 107 ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 Z
Fターム (7件)：
2F105AA02 ,  2F105AA08 ,  2F105BB09 ,  2F105CC01 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13
引用特許：
審査官引用 (5件)
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