角速度センサ素子

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史 , 深澤拓司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-092328
公開番号（公開出願番号）：特開2009-244161
出願日： 2008年03月31日
公開日（公表日）： 2009年10月22日
要約：

【課題】外部から突発的な振動が与えられた場合であっても、その振動を吸収して、素子部への振動の伝達を防止することができる角速度センサ素子を提供する。【解決手段】本実施形態に係る角速度センサ素子1は、駆動系及び検出系の振動腕を備えたセンサユニット10a〜10cと、センサユニット10a〜10cを連結する基部4と、基部4及びセンサユニット10a〜10cを包囲する枠状の第1固定部6と、基部4及び第1固定部6を連結する第1連結腕5a〜5cと、第1固定部6の周囲の少なくとも一部に配置された第2固定部8と、第1固定部6及び第2固定部8を連結する第2連結腕7a〜7cとを有する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

駆動系及び検出系の振動腕を備えた素子部と、前記素子部を包囲する枠状の第1固定部と、前記素子部及び前記第1固定部を連結する第1連結腕と、前記第1固定部の周囲の少なくとも一部に配置された第2固定部と、前記第1固定部及び前記第2固定部を連結する第2連結腕と、を有する角速度センサ素子。

IPC (5件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04 , H01L 41/08 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (5件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101D , H01L41/22 Z

Fターム (11件)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105CC04 , 2F105CD01 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (1件)

振動子、振動型ジャイロスコープおよび振動子の調整方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-328048 出願人：日本碍子株式会社

審査官引用 (8件)

角速度センサと加速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-007211 出願人：松下電器産業株式会社
複合センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-350907 出願人：松下電器産業株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-241666 出願人：株式会社村田製作所

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