特許

J-GLOBAL ID：201303088164517287

積層体の検査方法、積層体の製造方法、及び積層体の検査装置

発明者： 池田 修一
出願人/特許権者： 三菱化学株式会社
代理人 (3件)： 山本 典輝 ,  山下 昭彦 ,  岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-103909
公開番号（公開出願番号）：特開2013-231662
出願日： 2012年04月27日
公開日（公表日）： 2013年11月14日
要約：

【課題】複数の種類の欠陥をバランスよく検出するとともに、その装置構成を簡易にすることができる、積層体の検査方法を提供する。【解決手段】光路上に少なくとも光透過層(102、102’)及び光反射面(101a)を有する系に光を照射して、その反射光を受光して欠陥を検出する、積層体の検査方法(S1)であって、光透過層の光透過率特性に基づき、透過率が異なる波長にピーク値を有する複数種類の光源(110、120)を用いて、積層体に光を照射する工程(S21)と、照射された光の積層体からの反射光を検出器(130)で受光する工程(S22)と、受光した情報に基づいて画像処理を行い、欠陥を検出する工程(S23)と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光路上に少なくとも光透過層及び光反射面を有する系に光を照射して、その反射光を受光して欠陥を検出する、積層体の検査方法であって、 前記光透過層の光透過率特性に基づき、透過率が異なる波長にピーク値を有する複数種類の光源を用いて、前記積層体に光を照射する工程と、 前記照射された光の前記積層体からの反射光を検出器で受光する工程と、 前記受光した情報に基づいて画像処理を行い、欠陥を検出する工程と、を備える、 積層体の検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/95

FI (1件)：

G01N21/95 Z

Fターム (10件)：

2G051AA41 ,  2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051BA08 ,  2G051BC01 ,  2G051CA02 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB03 ,  2G051EA16

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 表面検査装置、表面検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-165605   出願人：コニカミノルタビジネステクノロジーズ株式会社
• 物体の表面検査
  公報種別：公表公報   出願番号：特願平9-502739   出願人：ブリテイツシユ・ニユクリアー・フユールズ・ピー・エル・シー
• 基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-203613   出願人：オリンパス株式会社