特許

J-GLOBAL ID：201303088665650270

露光装置、露光方法及びデバイス製造方法

発明者： 木内 徹
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-182591
公開番号（公開出願番号）：特開2013-016821
特許番号：特許第5321722号
出願日： 2012年08月21日
公開日（公表日）： 2013年01月24日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光学系と液体とを介して露光ビームで基板を露光する露光装置であって、 それぞれ基板を載置する第1、第2ステージと、 前記光学系の下端部に配置されるノズル部材を有し、前記光学系の下に、前記露光ビームが通る液浸領域を形成するために、前記ノズル部材を介して液体を供給し、前記ノズル部材を介して前記液浸領域から液体を回収する液浸システムと、 前記第1ステージに設けられ、前記光学系との間に前記液浸領域を維持可能な上面を有する所定部材と、 前記第1ステージと前記所定部材とを相対移動する駆動装置と、 前記ノズル部材と対向して配置される前記第1、第2ステージの一方に対して前記第1、第2ステージの他方を接近させるように相対移動するとともに、前記一方のステージの代わりに前記他方のステージが前記ノズル部材と対向して配置されるように、前記光学系の下方で前記ノズル部材に対して前記接近させた第1、第2ステージを移動する駆動システムと、を備え、 前記ノズル部材に対する前記第1、第2ステージの移動によって、前記液浸領域は、前記光学系の下に維持されつつ前記所定部材を介して前記一方のステージから前記他方のステージに移動し、 前記液浸領域を前記一方のステージから前記他方のステージに移動するために、前記所定部材はその上面が前記接近させた第1、第2ステージの間に配置されるように、前記駆動装置によって前記第1ステージの第1位置から第2位置に移動される。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ( 200 6.01) ,  G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  H01L 21/677 ( 200 6.01)

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 515 G ,  H01L 21/30 516 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 A

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 光学部品及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-028724   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置及びデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-323733   出願人：株式会社ニコン
• ステージ装置及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-286889   出願人：株式会社ニコン
• 露光装置及び方法、位置制御方法、並びにデバイス製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-027376   出願人：株式会社ニコン