特許
J-GLOBAL ID：201303091315020941
パターン検査装置および検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岡戸 昭佳
, 富澤 孝
, 山中 郁生
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-231845
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042971
特許番号：特許第4746218号
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 被検査体の検査面にライン状の光を照射する照射端と、前記照射端から照射され検査面で反射された光を受光する受光素子とを有し、前記受光素子の検出情報に基づき検査面上のパターンの良否を検査するパターン検査装置において、
前記照射端に光を供給する光源と、
前記光源から供給される光のうち、パターンによる反射率が下地による反射率より小さい短波長成分のものをカットする分光フィルタとを有し、
前記照射端は、検査面の法線に対して10度以上の所定の角度で光を照射するように配置され、
前記受光素子は、前記照射端から照射された光に対する正反射光を受光するように配置されており、
前記照射端から照射される光を拡散する拡散部材が前記照射端と被検査体との中央より被検査体側に配置されている
ことを特徴とするパターン検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ( 200 6.01)
, G01B 11/30 ( 200 6.01)
, H05K 3/00 ( 200 6.01)
G01N 21/956 B
, G01B 11/30 A
, H05K 3/00 Q
