自己較正機能を備える表面特性解析用システム

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井ノ口壽
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-614020
特許番号：特許第5248722号
出願日： 2000年04月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】試料を測定する方法であって、前記試料が、供給されたビームを変更することにより前記ビーム中の偏光された成分の偏光を変更する変更段階と、少なくとも1つの回転位相変調器および少なくとも1つの回転偏光子によって前記ビームを変調することで前記偏光された成分の偏光を変調し、前記ビームが前記試料によって変更される前に回転位相変調器または回転偏光子あるいはその両方により前記ビームを変調し、かつ前記ビームが前記試料によって変更された後に回転位相変調器または回転偏光子あるいはその両方により前記ビームを変調する変調段階と、前記ビームを変更し変調した後に前記ビームを検出する検出段階と、前記試料の1つ以上のエリプソメトリックパラメータおよび本システムの1つ以上のパラメータを検出されたビームから同時に導出する導出段階と、からなる方法。

IPC (9件)：

G01N 21/21 ( 200 6.01) , G01B 11/00 ( 200 6.01) , G01B 11/06 ( 200 6.01) , G01B 11/26 ( 200 6.01) , G01J 3/02 ( 200 6.01) , G01J 3/447 ( 200 6.01) , G01J 4/04 ( 200 6.01) , G01N 21/27 ( 200 6.01) , G01N 21/41 ( 200 6.01)

FI (10件)：

G01N 21/21 Z , G01B 11/00 G , G01B 11/06 G , G01B 11/26 G , G01J 3/02 C , G01J 3/447 , G01J 4/04 A , G01J 4/04 Z , G01N 21/27 B , G01N 21/41 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-012943
フォトアレイ検出器を備える回帰較正による回転補正器型分光エリプソメータシステム
公報種別：公表公報出願番号：特願平10-538525 出願人：ジェイ・エイ・ウーラム・カンパニー・インコーポレイテッド

引用文献：

審査官引用 (4件)

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