荷電粒子線装置および傾斜観察画像表示方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：磯野道造 , 多田悦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-001617
公開番号（公開出願番号）：特開2013-143197
出願日： 2012年01月06日
公開日（公表日）： 2013年07月22日
要約：

【課題】焦点の合った無傾斜観察画像と焦点の合った傾斜観察画像とをほぼ同時に取得してほぼ同時に表示することを可能にする。【解決手段】制御装置50は、一次電子線4を、試料15の表面を走査線1ライン分走査させるたびに、傾斜コイル11,12を介して一次電子線4の照射軸を左傾斜、無傾斜または右傾斜させる。そして、その照射軸を変更したときには、焦点調整コイル14を介して一次電子線4の焦点位置を照射軸の傾斜状態に応じて調整して、走査線1ライン分の試料15の表面の左傾斜観察画像、無傾斜観察画像または右傾斜観察画像を取得し、そのときまでに取得した走査線についての左傾斜観察画像と無傾斜観察画像と右傾斜観察画像とを同じ表示装置31に同時に表示する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

荷電粒子源と、前記荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を集束させる複数の電子レンズと、前記集束された一次荷電粒子線が試料の表面に照射されたとき、その照射点が前記試料の表面上を二次元的に走査するように前記一次荷電粒子線を偏向制御する荷電粒子線走査制御手段と、前記一次荷電粒子線が前記試料に照射されるときの前記一次荷電粒子線の照射軸を傾斜させる照射軸傾斜手段と、前記照射軸傾斜手段により前記一次荷電粒子線の照射軸を傾斜した場合の焦点位置と傾斜しなかった場合の焦点位置とが同じ位置になるように調整する焦点位置調整手段と、前記一次荷電粒子線が前記試料に照射されたときに、前記試料から放出される荷電粒子を検出する荷電粒子検出器と、前記荷電粒子検出器によって検出された信号に基づき、前記試料の表面の観察画像を生成する制御装置と、を備えた荷電粒子線装置であって、前記制御装置は、前記荷電粒子線走査制御手段を介して前記一次荷電粒子線を前記試料の表面を走査線1ライン分走査させるたびに、前記照射軸傾斜手段を介して前記一次荷電粒子線の照射軸を左傾斜、無傾斜または右傾斜させるとともに、前記照射軸を変更したとき、前記焦点位置調整手段を介して前記一次荷電粒子線の焦点位置を前記照射軸の傾斜状態に応じて調整して、前記走査線1ライン分の前記試料の表面の左傾斜観察画像、無傾斜観察画像または右傾斜観察画像を取得し、そのときまでに取得した走査線についての前記左傾斜観察画像と前記無傾斜観察画像と前記右傾斜観察画像とを同じ表示装置に同時に表示することを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , H01J 37/21 , H01J 37/147 , H01J 37/22

FI (5件)：

H01J37/28 B , H01J37/21 B , H01J37/147 B , H01J37/22 502H , H01J37/22 502B

Fターム (9件)：

5C033FF04 , 5C033FF10 , 5C033MM04 , 5C033MM07 , 5C033UU01 , 5C033UU02 , 5C033UU05 , 5C033UU06 , 5C033UU10

引用特許：

審査官引用 (7件)

走査型電子顕微鏡およびその類似装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-094076 出願人：株式会社日立製作所
特開昭58-198841
特開昭51-080763

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