特許
J-GLOBAL ID:201303094077344147

ネガ型レジスト組成物及びその用途

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人 安富国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-201598
公開番号(公開出願番号):特開2013-061599
出願日: 2011年09月15日
公開日(公表日): 2013年04月04日
要約:
【課題】感光性、基板との密着性、現像性、耐熱性、透明性等の各種物性に優れるとともに、画像形成性及び表面平滑性にも優れ、未露光部の残渣や地汚れ等がなく、かつ膜厚が充分に低減された硬化物(硬化膜)を与えることができるネガ型レジスト組成物を提供する。また、このようなネガ型レジスト組成物を用いてなるカラーフィルター及びその製造方法、並びに、該カラーフィルターを用いた表示装置を提供する。【解決手段】(メタ)アクリレート系重合体、重合性単量体及び光重合開始剤を含むネガ型レジスト組成物であって、該(メタ)アクリレート系重合体は、全単量体成分100質量%に対し、特定構造からなる3級炭素含有(メタ)アクリレート系単量体を30〜80質量%含む単量体成分を重合してなる重合体。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
(メタ)アクリレート系重合体、重合性単量体及び光重合開始剤を含むネガ型レジスト組成物であって、 該(メタ)アクリレート系重合体は、全単量体成分100質量%に対し、3級炭素含有(メタ)アクリレート系単量体を30〜80質量%含む単量体成分を重合してなる重合体であり、 該3級炭素含有(メタ)アクリレート系単量体は、(メタ)アクリロイル基に隣接する酸素原子が第3級炭素原子と結合し、かつ該第3級炭素原子に隣接する炭素原子の少なくとも1つが水素原子と結合した構造を有することを特徴とするネガ型レジスト組成物。
IPC (5件):
G03F 7/038 ,  G02B 5/20 ,  C08F 20/26 ,  C08F 22/40 ,  C08F 36/02
FI (5件):
G03F7/038 501 ,  G02B5/20 101 ,  C08F20/26 ,  C08F22/40 ,  C08F36/02
Fターム (31件):
2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BA48 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H125AC36 ,  2H125AC43 ,  2H125AC44 ,  2H125AC46 ,  2H125AC48 ,  2H125AD02 ,  2H125AN39P ,  2H125AN94P ,  2H125BA16P ,  2H125BA35P ,  2H125CA17 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  4J100AJ02R ,  4J100AL03Q ,  4J100AL03S ,  4J100AL74P ,  4J100AM47P ,  4J100BA02P ,  4J100BC43P ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA29 ,  4J100JA37 ,  4J100JA38
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (6件)
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