特許
J-GLOBAL ID：201003094795040367

感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者：
宮坂 昌宏

宮坂 昌宏 について


出願人/特許権者：
日立化成工業株式会社

日立化成工業株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-253225
公開番号（公開出願番号）：特開2010-085605
出願日： 2008年09月30日
公開日（公表日）： 2010年04月15日
要約：
【課題】感度、解像性、密着性及びレジスト形状に優れ、且つ剥離特性を十分に満足するレジストパターンを形成し得る感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法を提供する。【解決手段】(A)アルカリ可溶性基含有バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、水晶振動子上に形成された前記感光性樹脂組成物の硬化膜を、25°C、1質量%炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、浸漬直後の水晶振動子マイクロバランス(QCM)の指示値を0Hzとしたとき、浸漬後60秒における振動数変化量が、硬化膜の膜厚1μmあたり-80Hz以上-20Hz以下である、感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性基含有バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物であって、水晶振動子上に形成された前記感光性樹脂組成物の硬化膜を、25°C、1質量%炭酸ナトリウム水溶液に浸漬し、浸漬直後の水晶振動子マイクロバランス(QCM)の指示値を0Hzとしたとき、浸漬後60秒における振動数変化量が、硬化膜の膜厚1μmあたり-80Hz以上-20Hz以下である、感光性樹脂組成物。
IPC (9件)：
G03F 7/033 ,  G03F 7/004 ,  G03F 7/40 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/18 ,  C08F 220/06 ,  C08F 220/12 ,  C08F 212/08 ,  C08F 2/44
FI (9件)：
G03F7/033 ,  G03F7/004 512 ,  G03F7/40 521 ,  H05K3/06 J ,  H05K3/18 D ,  C08F220/06 ,  C08F220/12 ,  C08F212/08 ,  C08F2/44 C
Fターム (57件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AC08 ,  2H025AD01 ,  2H025BC34 ,  2H025BC43 ,  2H025BC45 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA41 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CC15 ,  2H025FA17 ,  2H025FA40 ,  2H025FA43 ,  2H025FA48 ,  2H096AA26 ,  2H096BA05 ,  2H096CA16 ,  2H096EA02 ,  2H096EA04 ,  2H096GA09 ,  2H096HA17 ,  2H096HA27 ,  4J011AA05 ,  4J011AC04 ,  4J011BA04 ,  4J011PA65 ,  4J011PA69 ,  4J011PC02 ,  4J100AB02S ,  4J100AJ02P ,  4J100AL03Q ,  4J100AL08R ,  4J100BC43R ,  4J100CA03 ,  4J100CA06 ,  4J100JA38 ,  5E339BC02 ,  5E339BD11 ,  5E339BE13 ,  5E339CE11 ,  5E339CF06 ,  5E339DD03 ,  5E343CC62 ,  5E343DD32 ,  5E343ER16 ,  5E343ER18 ,  5E343GG08
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (6件)
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