特許
J-GLOBAL ID：201303094488008873
アクチュエータ
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
酒井 宏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-076171
公開番号（公開出願番号）：特開2013-207966
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月07日
要約：
【課題】大きなストロークで位置決めを行うことができる小さな構成のアクチュエータを得ること。【解決手段】XZ平面上に配置された第1のボイスコイル固定子および第1の永久磁石可動子と、YZ平面上に配置された第2のボイスコイル固定子および第2の永久磁石可動子と、第1および第2の永久磁石可動子の移動によって3軸方向の回転角度および3方向の並進変位の6自由度が駆動制御されるアクチュエータ可動子と、を有し、第1,2のボイスコイル固定子は、巻平面が互いに垂直なラジアルボイスコイルとスラストボイスコイルとを備え、第1,2の永久磁石可動子は、ラジアルボイスコイルおよびスラストボイスコイルを貫通する磁束を発生させるとともに、ラジアルボイスコイルおよびスラストボイスコイルにコイル電流が流されることによってローレンツ力で動かされる。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の平面が巻平面である第1のラジアルボイスコイルおよび前記第1の平面に垂直な第2の平面が巻平面である第1のスラストボイスコイルを備えた第1のボイスコイル固定子と、
前記第1のラジアルボイスコイルおよび前記第1のスラストボイスコイルを貫通する第1の磁束を発生させるとともに、前記第1のラジアルボイスコイルおよび前記第1のスラストボイスコイルに第1のコイル電流が流されることによって動かされる第1の永久磁石可動子と、
前記第1および第2の平面に垂直な第3の平面が巻平面である第2のラジアルボイスコイルおよび前記第2の平面が巻平面である第2のスラストボイスコイルを備えた第2のボイスコイル固定子と、
前記第2のラジアルボイスコイルおよび前記第2のスラストボイスコイルを貫通する第2の磁束を発生させるとともに、前記第2のラジアルボイスコイルおよび前記第2のスラストボイスコイルに第2のコイル電流が流されることによって動かされる第2の永久磁石可動子と、
前記第1および第2の永久磁石可動子の移動によって位置決めされるアクチュエータ可動子と、
を有し、
前記第1の永久磁石可動子は、前記第1の磁束および前記第1のコイル電流によって発生するローレンツ力によって動かされ、
前記第2の永久磁石可動子は、前記第2の磁束および前記第2のコイル電流によって発生するローレンツ力によって動かされ、
前記アクチュエータ可動子は、前記第1および第2の永久磁石可動子の移動によって3つの軸方向の回転角度および3方向の並進変位の6自由度が駆動制御されることを特徴とするアクチュエータ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
5H641BB06
, 5H641BB15
, 5H641BB19
, 5H641GG02
, 5H641GG05
, 5H641HH03
, 5H641JA07
