特許
J-GLOBAL ID：201303098751285572
透明導電性酸化亜鉛薄膜及び該透明導電性酸化亜鉛薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清原 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-011476
公開番号（公開出願番号）：特開2013-147727
出願日： 2012年01月23日
公開日（公表日）： 2013年08月01日
要約：
【課題】膜厚が140nm以下といった極薄レベルであっても、高価で資源の制約が懸念される元素を多量に添加する必要がなく、耐湿熱性に優れ、高温高湿の環境下に晒しても比抵抗の変化が小さく、且つ導電性及び光透過率に優れた透明導電性酸化亜鉛薄膜、及びこの透明導電性酸化亜鉛薄膜の製造方法を提供する。【解決手段】酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Bi、Se、Ce、Cu、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された透明導電性酸化亜鉛薄膜であって、60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下であり、前記環境試験後の比抵抗が5×10-4Ω・cm以下であり、前記透明導電性酸化亜鉛薄膜に含まれるZnと第2元素の原子数量比(第2元素/Zn)が0.15〜0.46%であり、膜厚が140nm以下であることを特徴とする透明導電性酸化亜鉛薄膜とする。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
酸化亜鉛に、Ga及び/又はAlからなる第1元素と、In、Bi、Se、Ce、Cu、Er及びEuからなる群から選択される少なくとも1つからなる第2元素が添加された透明導電性酸化亜鉛薄膜であって、
60°C、相対湿度95%の条件下で500時間の環境試験を行ったとき、環境試験前の比抵抗に対する環境試験後の比抵抗の相対変化率が15%以下であり、
前記環境試験後の比抵抗が5×10-4Ω・cm以下であり、
前記透明導電性酸化亜鉛薄膜に含まれるZnと第2元素の原子数量比(第2元素/Zn)が0.15〜0.46%であり、
膜厚が140nm以下であることを特徴とする透明導電性酸化亜鉛薄膜。
IPC (3件)：
C23C 14/08
, H01B 5/14
, H01B 13/00
C23C14/08 C
, H01B5/14 A
, H01B13/00 503B
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA49
, 4K029BC09
, 4K029CA04
, 4K029DD05
, 4K029EA01
, 4K029EA04
, 4K029KA01
, 5G307FA01
, 5G307FB01
, 5G307FC04
, 5G307FC06
, 5G307FC09
, 5G307FC10
, 5G323BA02
, 5G323BB04
