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J-GLOBAL ID：201402200538729087   整理番号：14A1029726

イオン導電性高分子アクチュエータの選択的プラズマ照射によるマイクロファブリケーション

Microfabrication of ionic polymer actuators by selective plasma irradiation

著者 (5件)： KIKUCHI Kunitomo (Dep. of Opto-Mechatronics, Fac. of Systems Engineering, Wakayama Univ., 930 Sakaedani, Wakayama 640-8510, JPN) ,  TANIGUCHI Tomohisa ,  MIKI Hirofumi ,  TSUCHITANI Shigeki ,  ASAKA Kinji
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 9  号： 5  ページ： 572-574  発行年： 2014年09月 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 金めっき電極を用いたマイクロ化イオン導電性高分子金属接合体(IPMC)の新しい製作法として,選択プラズマ照射と無電気めっき法を用いる方法を提示した。めっき作業に先だち,Naflon薄膜上にステンシルマスクを介してSF₆またはCF₄プラズマを照射して,照射エリヤ内への金電極の堆積を防止する。400μm幅の縞模様を用いたマイクロIPMCを製作した。本手法により,MEMS素子と組合わせたマイクロIPMCを直接的かつ簡単な製作プロセスにより実現することができる。Copyright 2014 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *イオン伝導 ,  *導電性高分子 ,  *アクチュエータ ,  *プラズマ曝露 ,  金めっき ,  堆積 ,  マイクロ化 ,  めっき ,  金電極 ,  パターン形成
準シソーラス用語： イオン導電性 ,  *プラズマ照射

分類 (1件)： 導体材料  (NA04020L)

引用文献 (5件)：

• Fujiwara N, Asaka K, Nishimura Y, Oguro K, Torikai E. Preparation of gold-solid polymer electrolyte composites as electric stimuli-responsive materials. Chemistry of Materials 2000; 12(6): 1750-1754.
• Pugal D, Kim SJ, Kim KJ, Leang KK. IPMC: recent progress in modeling, manufacturing, and new applications. Electroactive Polymer Actuators and Devices (EAPAD) 2010, Proceedings of SPIE 2010; 7642:76420U.
• Chen Z, Tan X. Monolithic fabrication of ionic polymer-metal composite actuators capable of complex deformation. Sensors and Actuators A: Physical 2010; 157:246-257.
• Avram M, Avram AM, Bragaru A, Ghiu A, Iliescu C. Plasma surface modification for selective hydrophobic control. Romanian Journal of Information Science and Technology 2008; 11:409-422.
• Kikuchi K, Tsuchitani S, Miwa M, Asaka K. Formation of patterned electrode in ionic polymer-metal composite using dry film photoresist. IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 2008; 3(4):452-454.

タイトルに関連する用語 (3件)： イオン導電性 ,  高分子アクチュエータ ,  プラズマ照射