文献

J-GLOBAL ID：201402207563427880   整理番号：14A0043992

酸化マグネシウム(100)基板上の酸窒化クロム薄膜のエピタキシャル成長およびその酸化挙動

Epitaxial Growth of Chromium Oxynitride Thin Films on Magnesium Oxide (100) Substrates and Their Oxidation Behavior

著者 (7件)： SUZUKI Kazuma (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  ENDO Toshiyuki (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  SATO Aoi (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  SUZUKI Tsuneo (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  NAKAYAMA Tadachika (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  SUEMATSU Hisayuki (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.) ,  NIIHARA Koichi (Extreme Energy-Density Res. Inst., Nagaoka Univ. of Technol.)
資料名： Materials Transactions  (Materials Transactions)
巻： 54  号： 10  ページ： 1957-1961 (J-STAGE)  発行年： 2013年 
JST資料番号： G0668A  ISSN： 1345-9678  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルスレーザ被覆法を用いて,CrNの割合に対して-1.7%ミスフィットCr(N,O)薄膜をMgO基板上にエピタキシャル成長させた。X線回折パターンから,MgOの(200)反射ピーク付近にCr(N,O)の(200)反射ピークが存在する事がわかった。X線回折パターンのφスキャンにおいて,Cr(N,O)の(111)反射が90度毎に出現する狭いピークを示した。微細組織観察からは,薄膜内の結晶粒界は確認できなかった。クロム(N,O)薄膜の酸化挙動を評価するために,空気中で酸化試験を行った。酸化試験後に,Cr₂O₃相が873Kで生成し,またB1(NaCl型)相が1073Kで消えた。1073Kにおける酸化薄膜では,薄膜表面上にCr₂O₃相および酸素の組成勾配が観察された。これは,Cr(N,O)硬質コーティングが,切削工具の寿命を延ばすための酸化防止層を形成可能な事を示している。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： マトリックス【母体】 ,  *窒化物 ,  *エピタクシー ,  酸化マグネシウム ,  レーザ蒸着 ,  パルスレーザ照射 ,  基板 ,  薄膜 ,  *空気酸化 ,  *酸化クロム ,  切削工具 ,  被覆工具 ,  セラミック被覆 ,  工具寿命 ,  酸化防止 ,  酸化膜 ,  ミスフィット ,  岩塩型結晶 ,  寿命延長 ,  パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： パルスレーザ堆積 ,  *酸窒化クロム

分類 (2件)： その他の無機化合物の結晶成長  (BK13060T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (23件)：

• 1) T. Hurkmans, D. B. Lewis, H. Partiong, J. S. Brooks and W. D. Müntz: Surf. Coat. Technol. 114 (1999) 52–59.
• 2) J.-N. Tu, J.-G. Duh and S.-Y. Tsai: Surf. Coat. Technol. 133–134 (2000) 181–185.
• 3) S. Ulrich, H. Holleck, J. Ye, H. Leiste, R. Loos, M. Stüber, P. Pesch and S. Sattel: Thin Solid Films 437 (2003) 164–169.
• 4) K. Bobzin, N. Bagcivan, P. Immich, S. Bolz, R. Cremer and T. Leyendecker: Thin Solid Films 517 (2008) 1251–1256.
• 5) J. H. Park, W. S. Chung, Y.-R. Cho and K. H. Kim: Surf. Coat. Technol. 188–189 (2004) 425–430.

タイトルに関連する用語 (6件)： 酸化マグネシウム ,  酸窒化 ,  クロム ,  薄膜 ,  エピタキシャル成長 ,  酸化挙動