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J-GLOBAL ID：201402208870155176   整理番号：14A0280477

金属酸化物パターンおよびデバイスのレオロジープリンティング

Rheology printing for metal-oxide patterns and devices

著者 (18件)： KANEDA Toshihiko (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  HIROSE Daisuke (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MIYASAKO Takaaki (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  TUE Phan Trong (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  TUE Phan Trong (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MURAKAMI Yoshitaka (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MURAKAMI Yoshitaka (JSR Corp., Mie, JPN) ,  KOHARA Shinji (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  KOHARA Shinji (Japan Synchrotron Radiation Res. Inst. (JASRI), Hyogo, JPN) ,  LI Jinwang (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  LI jinwang (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  MITANI Tadaoki (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  MITANI Tadaoki (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  TOKUMITSU Eisuke (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  TOKUMITSU Eisuke (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN) ,  TOKUMITSU Eisuke (Tokyo Inst. Technol., Yokohama, JPN) ,  SHIMODA Tatsuya (JST-ERATO, Ishikawa, JPN) ,  SHIMODA Tatsuya (Japan Advanced Inst. Sci. and Technol., Ishikawa, JPN)
資料名： Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices  (Journal of Materials Chemistry C. Materials for Optical, Magnetic and Electronic Devices)
巻： 2  号： 1  ページ： 40-49  発行年： 2014年01月07日 
JST資料番号： W2383A  ISSN： 2050-7526  CODEN： JMCCCX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 溶液ベースの酸化物トランジスターのプリンティングを研究し,”レオロジープリンティング”と名付けた新しいプリンティングプロセスを達成した。このプロセスでは,半固体酸化物先駆物質材料がインプリントされ,正確な先駆物質パターンを得ることができた。他の直接ナノインプリントプロセスとは異なるこのプロセスは,プリンティングにおける粘弾性変態(軟化)および金属酸化物凝縮を特色とした。したがって,プリントされたパターンはポスト-アニーリングにおいて収縮あるいは変形をほとんど受けず,高い形状忠実度でモールドへ酸化物パターンを作製し,数十ナノメーターのパターンサイズスケールまでの高い精度および能力で良く定義された形状を結果として生じた。結果として,はじめての全-プリントされた酸化物薄膜トランジスター(TFTs)を作製することに成功した。

シソーラス用語： *金属酸化物 ,  薄膜トランジスタ ,  *レオロジー ,  *パターン形成 ,  *印刷 ,  ナノ構造 ,  変形 ,  *固体素子 ,  型 ,  酸化インジウムスズ ,  インジウム錯体 ,  スズ錯体 ,  スピンコーティング ,  凝固 ,  脂肪族ケトン ,  ジケトン ,  脂肪酸
準シソーラス用語： ナノパターン ,  *レオロジープリンティング ,  粘弾性変形 ,  半固体化

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

物質索引 (2件)： アセチルアセトン ,  プロピオン酸

タイトルに関連する用語 (3件)： 金属酸化物 ,  レオロジー ,  プリンティング