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J-GLOBAL ID：201402235421676932   整理番号：14A0289945

小型のイメージングミラーシステムを備えた単色フルフィールドX線顕微鏡の開発

Development of achromatic full-field X-ray microscopy with compact imaging mirror system

著者 (9件)： MATSUYAMA S. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  EMI Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KINO H. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  SANO Y. (Osaka Univ., Osaka, JPN) ,  KOHMURA Y. (RIKEN, Hyogo, JPN) ,  TAMASAKU K. (RIKEN, Hyogo, JPN) ,  YABASHI M. (RIKEN, Hyogo, JPN) ,  ISHIKAWA T. (RIKEN, Hyogo, JPN) ,  YAMAUCHI K. (Osaka Univ., Osaka, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8851  ページ： 885107.1-885107.8  発行年： 2013年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フルフィールドx線顕微鏡によって,x線の照射された試料の拡大されたイメージを得ることができる。一般的に,この装置は照射光学系,イメージング光学系,そしてx線カメラから成る。この顕微鏡を用いると,他の顕微鏡では可視化できないレベルの詳細な画像を得ることができる。特長の一つは,他の光学顕微鏡に比べて分解能が非常に高いことである。即ち,波長が短いために,達成可能な分解能は20~100nmである。更に,侵入パワーが大きいので,非常に厚い試料や,物質の内部を探ることができ,溶液中やガス雰囲気中の試料も観測可能である。本稿では,小型のイメージングミラーシステムを備えた単色フルフィールドX線顕微鏡の開発について報告する。調整が簡単で,振動や熱ドリフトの影響が少ない顕微鏡を構築するために,小型で最新のKirkpatrick-Baez光学系を採用した。イメージング・ミラーシステムの全長は286mmで,従来のモデルよりも34%程度短い。SPring-8のBL29XULビームラインによる10keVのエネルギーを用いたx線カメラで求めた明視野像に関する空間分解能の試験を行った結果,縦方向の分解能は50nm,そして横方向の分解能は100nmであることが分かった。しかし,理想的な集光調整が達成できなかったので,横方向の分解能は目的とする50nmには達しなかった。また,コントラストは予想されるコントラストよりも幾分低いことが分かった。

シソーラス用語： *X線顕微鏡 ,  X線カメラ ,  *空間分解能 ,  *単色光 ,  放射光施設 ,  コントラスト
準シソーラス用語： SPring-8

分類 (1件)： X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (4件)： 単色 ,  フィールド ,  X線顕微鏡 ,  開発